هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة تطلق نظام فحص سطح الرقاقة عالي الحساسية والإنتاجية LS9300AD لمصنعي الرقاقات

طوكيو، 15 مارس 2024 – (JCN Newswire) – أعلنت شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة ("هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة") عن إطلاق LS9300AD، وهو نظام جديد لفحص الجزء الأمامي والخلفي من أسطح الرقاقات غير المنقوشة بحثًا عن الجسيمات والعيوب. بالإضافة إلى الكشف التقليدي عن تشتت الليزر في المجال المظلم للمواد والعيوب الغريبة، تم تجهيز LS9300AD بوظيفة فحص DIC (تباين التداخل التفاضلي) الجديدة التي تتيح اكتشاف العيوب غير المنتظمة، حتى العيوب المجهرية الضحلة والمنخفضة الجانب*1. يتمتع LS9300AD بطريقة قبضة حافة الرقاقة*2 ومرحلة الدوران المستخدمة حاليًا في المنتجات التقليدية لتمكين فحص الرقاقة الأمامية والخلفية. ومع طرح LS9300AD، تتيح شركة Hitachi High-Tech تقليل تكاليف الفحص وتحسين العائد لرقائق أشباه الموصلات وشركات تصنيع أجهزة أشباه الموصلات من خلال توفير حساسية عالية واكتشاف عالي الإنتاجية للعيوب المجهرية منخفضة الجانب.

*1نسبة العرض إلى الارتفاع المنخفضة: بشكل عام، تشير نسبة العرض إلى الارتفاع إلى نسبة العرض إلى الارتفاع للمستطيل. في هذا الإصدار، يشير مصطلح "الجانب المنخفض" إلى المخالفات الموجودة على السطح والجزء الخلفي من الرقاقة، والعيوب المجهرية مع نسبة صغيرة جدًا من العمق إلى العرض.*2 طريقة الإمساك بحافة الرقاقة: طريقة يتم فيها تثبيت الرقاقة عند الجانب فقط الحافة أثناء التفتيش خلفية تطوير المنتج الجديد

تم استخدام فحص أسطح رقائق أشباه الموصلات غير المنقوشة (قبل تشكيل نمط الدائرة) والأسطح الخلفية في ضمان الجودة أثناء شحن الرقائق وقبولها، وكذلك للتحكم في الجسيمات في عمليات تصنيع أجهزة أشباه الموصلات المختلفة. يستخدمه مصنعو رقائق أشباه الموصلات في مراقبة الجودة لفحص العيوب والجزيئات التي تحدث أثناء عملية تصنيع الرقاقة. في السنوات الأخيرة، أصبحت أجهزة أشباه الموصلات أصغر حجمًا وأكثر تعقيدًا، وبالتالي أصبح حجم العيوب والمواد الغريبة التي تؤثر على العائد في عملية تصنيع أجهزة أشباه الموصلات أصغر. ونتيجة لذلك، تتزايد الحاجة إلى إدارة جميع أنواع العيوب، بما في ذلك العيوب المجهرية ذات الجوانب المنخفضة على السطح والجانب الخلفي من الرقائق. الاستجابة للتغيرات في البيئة الاجتماعية من المتوقع أن يزداد إنتاج أشباه الموصلات. للتحكم في تكاليف الفحص، يلزم وجود معدات فحص عالية الحساسية وعالية الإنتاجية.

التقنيات الجديدة الرئيسية

بالإضافة إلى تشتيت الليزر التقليدي في المجال المظلم، يحتوي LS9300AD على نظام بصري DIC جديد يتيح كلاً من الحساسية العالية والفحص عالي الإنتاجية واكتشاف العيوب المجهرية منخفضة الجانب.

(1) بصريات DIC المدمجة

بينما يقوم ليزر المجال المظلم بإشعاع سطح الرقاقة، فإن شعاعين منفصلين عن ليزر DIC يشعان نقطتين مختلفتين على سطح الرقاقة. عندما يكون هناك اختلاف في الارتفاع على سطح الرقاقة بين النقطتين المشععتين بواسطة ليزر DIC، فإن تباين الطور لإشارة التداخل التفاضلي المتولدة من الاختلاف يخلق صورة عالية التباين لعدم استواء سطح الرقاقة. ونتيجة لذلك، من الممكن اكتشاف معلومات الارتفاع والمساحة والموضع الخاصة بالعيوب المجهرية منخفضة الجانب على سطح الرقاقة، والتي كان من الصعب اكتشافها باستخدام التقنيات السابقة.

(2) نظام معالجة البيانات الجديد المتوافق مع DIC

إلى جانب النظام البصري DIC، تم تركيب نظام بصري لتشتيت الليزر في المجال المظلم ونظام معالجة البيانات لمعلومات العيوب التي تم الحصول عليها من خلال النظام البصري DIC. يتيح ذلك إخراجًا متزامنًا لخرائط تشتيت الليزر في المجال المظلم وخرائط الفحص من النظام البصري DIC، مما يتيح فحصًا عالي الحساسية، حتى لبيانات العيوب ذات الجوانب المنخفضة، مع الحفاظ على سرعة فحص عالية.

من خلال تقديم LS9300AD، بالإضافة إلى أنظمة القياس لدينا التي تستخدم تقنية شعاع الإلكترون وأنظمة فحص الرقاقات الضوئية، تعمل شركة Hitachi High-Tech على تلبية احتياجات العملاء في المعالجة والقياس والفحص طوال عملية تصنيع أشباه الموصلات. سنستمر في تقديم حلول مبتكرة ومعززة رقميًا لمنتجاتنا لمواجهة التحديات التكنولوجية القادمة، وخلق قيمة جديدة مع عملائنا، بالإضافة إلى المساهمة في التصنيع المتطور.

نبذة عن شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة

تعمل شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة، التي يقع مقرها الرئيسي في طوكيو، اليابان، في أنشطة في مجموعة واسعة من المجالات، بما في ذلك تصنيع وبيع أجهزة التحليل السريرية، ومنتجات التكنولوجيا الحيوية، والأدوات التحليلية، ومعدات تصنيع أشباه الموصلات ومعدات التحليل. وتوفير حلول ذات قيمة مضافة عالية في مجالات البنى التحتية الاجتماعية والصناعية والتنقل، وما إلى ذلك. وبلغت الإيرادات المجمعة للشركة للسنة المالية 2022 تقريبًا. 674.2 مليار ين ياباني. لمزيد من المعلومات، قم بزيارة https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

اتصال:
يوكي ميناتاني قسم تخطيط الأعمال، قسم أنظمة القياس، مجموعة أعمال حلول تكنولوجيا النانو، شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

• محتوى مدعوم من تحسين محركات البحث وتوزيع العلاقات العامة. تضخيم اليوم.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. تمكين نفسك. الوصول هنا.
• أفلاطونايستريم. ذكاء Web3. تضخيم المعرفة. الوصول هنا.
• أفلاطون كربون، كلينتك ، الطاقة، بيئة، شمسي، إدارة المخلفات. الوصول هنا.
• أفلاطون هيلث. التكنولوجيا الحيوية وذكاء التجارب السريرية. الوصول هنا.
• المصدر https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/