قياس أشباه الموصلات: تحديد المواقع هو المفتاح – عالم الفيزياء

قياس أشباه الموصلات: تحديد المواقع هو المفتاح – عالم الفيزياء

توفر الأنظمة الفرعية المتخصصة لتحديد المواقع وحدات البناء الأساسية في حلول قياس وفحص السطح ثلاثية الأبعاد لصناعة أشباه الموصلات

<a href="https://platoblockchain.com/wp-content/uploads/2024/02/semiconductor-metrology-positioning-is-key-physics-world-2.jpg" data-fancybox data-src="https://platoblockchain.com/wp-content/uploads/2024/02/semiconductor-metrology-positioning-is-key-physics-world-2.jpg" data-caption="تاكيد الجودة تم دمج تقنيات المنصات من شركة Prior Scientific وQueensgate في أنظمة الفحص البصري الخاصة بشركة OEM لتطبيقات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة عبر سلسلة توريد أشباه الموصلات. (مجاملة: كوينزجيت)”> مقياس التداخل في كوينزجيت
تاكيد الجودة تم دمج تقنيات المنصات من شركة Prior Scientific وQueensgate في أنظمة الفحص البصري الخاصة بشركة OEM لتطبيقات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة عبر سلسلة توريد أشباه الموصلات. (مجاملة: كوينزجيت)

الشركات الشقيقة علمي سابق و كوينزغيت تقدم مجموعة متنوعة من التقنيات التمكينية لدعم متطلبات تحديد المواقع عالية السرعة والدقة لأنظمة القياس البصري ثلاثية الأبعاد المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات والبحث والتطوير التطبيقي. عالم الفيزياء تحدثت إلى مدير منتجات Queensgate Craig Goodman حول التكنولوجيا الناشئة والفرص التجارية ضمن سلسلة توريد أشباه الموصلات.

لماذا تعد قياسات الأسطح غير المتصلة أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات؟

مع انتقال صناعة أشباه الموصلات من الرقائق مقاس 8 بوصة إلى 12 بوصة (300 مم) والميزات الأصغر على تلك الرقائق (وصولاً إلى 5 نانومتر أو ما يقرب من ذلك)، يصبح الفحص البصري لتلك الميزات النانوية - الموثوقة والقابلة للتكرار وبسرعة عالية ودقة عالية - أكثر أهمية من أي وقت مضى. ببساطة، يعد القياس البصري ثلاثي الأبعاد أمرًا ضروريًا، مع الحاجة إلى أنظمة فحص سطحية آلية قادرة على تقييم مئات الآلاف من الأجهزة الإلكترونية الدقيقة على رقاقة واحدة مقاس 3 مم. هذا هو المكان الذي تأتي فيه مراحل تحديد المواقع الخاصة بنا: "نقطة رائعة" حقيقية للأنظمة الفرعية لتحديد المواقع النانوية الكهرضغطية وأجهزة الاستشعار السعوية التي نقوم بتصنيعها.

كيف تبدو قاعدة عملائك القابلة للتوجيه في صناعة أشباه الموصلات؟

في Prior Scientific وQueensgate، نستهدف الشركات المصنعة للمعدات الأصلية للأجهزة التي ستقوم بدمج مجموعتنا من التقنيات التمكينية في الجيل التالي من أنظمة القياس البصري غير المتصلة لتحديد ملامح السطح وفحصه ثلاثي الأبعاد. في المراحل الأولى من سلسلة الابتكار، نبيع أيضًا مجموعة من أنظمة تحديد المواقع لعلماء ومهندسي أشباه الموصلات الذين يعملون في إعدادات البحث والتطوير التطبيقية.

كيف تفيد منتجات تحديد المواقع الشركات المصنعة لأشباه الموصلات؟

بمجرد دمجها في أنظمة الفحص البصري الخاصة بشركة OEM، يتم استخدام منتجاتنا لدعم المواد وتطوير النموذج الأولي على مستوى الجهاز داخل مختبرات البحث والتطوير لأشباه الموصلات. في بيئة التصنيع ذات الحجم الكبير، تعتبر أنظمة القياس السطحي نفسها ضرورية لضمان الجودة ومراقبة الجودة، والتخلص من عيوب الأجهزة وفشلها على مستوى الرقاقة - أي قبل دمج هذه الأجهزة في المكونات الإلكترونية المعبأة. والاسترداد واضح: من خلال تحديد العيوب في وقت مبكر من دورة الاختبار، يتجنب مصنعو أشباه الموصلات دمج هذه الأجهزة المعيبة في حزمة كاملة واكتشافها في أسفل خط الإنتاج أثناء الاختبار الكهربائي.

ومن الناحية الاستراتيجية، لماذا تركز شركتا "بريور ساينتيفيك" و"كوينزجيت" كثيرًا على سوق أشباه الموصلات في الوقت الحالي؟

هناك فرص نمو متقاربة متاحة لموردي التكنولوجيا لصناعة أشباه الموصلات. على المستوى الرئيسي، هناك مشكلة أمن أشباه الموصلات المرتبطة بنقص الرقائق الإقليمي خلال جائحة كوفيد. وعلى سبيل الاستجابة، يتحرك صناع السياسات في الولايات المتحدة وأوروبا والمملكة المتحدة بشكل استباقي لزيادة القدرة المحلية في إنتاج أشباه الموصلات. هناك محرك تكنولوجي موازٍ مع تحول التصنيع بكميات كبيرة إلى رقائق أشباه الموصلات مقاس 300 مم، مع اضطرار مصنعي المعدات الأصلية للأجهزة إلى إعادة هندسة أنظمة القياس البصري الخاصة بهم وفقًا لذلك. إن ما تريده صناعة أشباه الموصلات، بشكل قياسي، هو أنظمة فحص بصري عالية الإنتاجية وقابلة للتطوير ومؤتمتة لتعزيز كفاءة سير العمل وجودة المنتج.

<a data-fancybox data-src="https://physicsworld.com/wp-content/uploads/2024/02/web-Craig.jpg" data-caption="كريج جودمان "هناك فرص نمو متقاربة متاحة لموردي التكنولوجيا لصناعة أشباه الموصلات." (Courtesy: Queensgate)” title=”انقر لفتح الصورة في النافذة المنبثقة” href=”https://physicsworld.com/wp-content/uploads/2024/02/web-Craig.jpg”>كريج جودمان

من المفترض أن تكون صناعة التكنولوجيا الكمومية أيضًا محركًا لنمو شركات أشباه الموصلات؟

صحيح. يعد التقدم في الاستشعار الكمي والشبكات الكمومية والحوسبة الكمومية بإنتاج تقنيات وتطبيقات تغير قواعد اللعبة، مع مجالات كبيرة من البحث والتطوير في المواد وتطوير الأجهزة التي تعتمد على عمليات تصنيع أشباه الموصلات التقليدية. تتحرك الأمور بسرعة، حيث تأمل الشركات عبر سلسلة التوريد الكمومية الناشئة في التقدم من مختبر البحث والتطوير نحو التطبيقات التجارية المستدامة عاجلاً وليس آجلاً.

كيف تظل شركة Prior Scientific وQueensgate في الطليعة عندما يتعلق الأمر بابتكار المنتجات؟

نحن نعمل بشكل وثيق مع مجتمع الأبحاث لتسريع الابتكار التكنولوجي الداخلي لدينا. دراسة حالة بارزة في هذا الصدد هي لدينا التعاون المستمر في مجال البحث والتطوير مع الالجائزة المختبر الوطني الفيزيائي (NPL)، المعهد الوطني للقياس في المملكة المتحدة. بتمويل من تحليل للمبتكرين (A4I) - برنامج يديره ابتكار المملكة المتحدة، وكالة الابتكار في المملكة المتحدة - قمنا مؤخرًا "بالغوص العميق" في طبيعة ومدى أخطاء الحركة الطفيلية (خارج المحور) في مراحل تحديد المواقع النانوية متعددة المحاور في كوينزجيت. من خلال العمل مع علماء NPL، أسفر هذا البحث الدقيق عن منهجية تصحيح ومعايرة عملية لتعزيز ضمان الجودة الشامل عبر محفظة Queensgate لمراحل تحديد المواقع النانوية التي تعتمد على الضغط الانضغاطي (بالإضافة إلى تمكين التقنيات مثل المحركات الانضغاطية، وأجهزة الاستشعار السعوية، وإلكترونيات التحكم والبرمجيات).

كيف تبدو خارطة طريق التطوير لمحفظة منتجات تحديد المواقع الخاصة بك في عام 2024؟

على المدى القريب، سنطلق أجهزة تحديد المواقع الجديدة ذات التحميل العالي - من أجل مناورة الرأس البصري الكامل في نظام قياس سطح عدم الاتصال - بالإضافة إلى إضافة قدرة متعددة المحاور إلى مجموعتنا من مراحل تحديد موضع العينات للرقائق مقاس 300 مم (مع سعة الحمولة لدعم خراطيش الويفر الثقيلة). يوجد أيضًا في مرحلة تطوير النموذج الأولي، ومن المقرر إطلاقه تجاريًا بالكامل في وقت لاحق من هذا العام، مرحلة نموذجية لطرف/إمالة المحور Z لمعالجة رقائق السيليكون المتقدمة. الفكرة الأساسية: من خلال العمل معًا، يمكن لـ Prior Scientific وQueensgate تغطية جميع متطلبات تحديد المواقع الخاصة بك لقياس وفحص السطح ثلاثي الأبعاد.

تمكين التقنيات والأنظمة الفرعية لقياس السطح ثلاثي الأبعاد

من المجاهر البحثية إلى أنظمة التصوير السطحي الآلية، توفر شركة Prior Scientific مراحل تحديد المواقع الآلية والرافعات الآلية وحلول الإضاءة والأنظمة الفرعية الأساسية الأخرى لدعم متطلبات القياس للبحث والتطوير المتقدم لأشباه الموصلات والتصنيع.

بريور H105F، على سبيل المثال، هو مرحلة المحرك السائر المزود بمحرك XY (مسافة 154 × 154 مم) يمكنها استيعاب عينات كبيرة بما في ذلك رقائق أشباه الموصلات والأقنعة الضوئية ولوحات الدوائر المطبوعة. جزء من نفس عائلة المنتج، يوفر H112 نطاق سفر أقصى يبلغ 302 × 302 مم لاستيعاب الرقائق مقاس 300 مم (مع ضمان التوافق مع العديد من لوادر الويفر ذات الذراع الآلية).

بالتوازي، تنتج بريور مجموعة من تجميعات الأنف الموضوعية الآلية واليدوية للاندماج في الأنظمة البصرية المخصصة الجديدة أو الموجودة. تتراوح قطع الأنف من التكبير الثابت أحادي الهدف لتطبيقات OEM إلى قطعة الأنف المزودة بمحرك بستة مواضع لتطبيقات المسح الآلي التي تتطلب أهدافًا متعددة.

بالتوافق مع عرض منتج Pre Scientific، تقوم الشركة الشقيقة Queensgate بتصنيع مراحل بيزو عالية السرعة وعالية الدقة وأجهزة استشعار سعوية ذات دقة بيكومتر منخفضة لأنظمة تحديد المواقع النانوية المستخدمة في فحص رقائق أشباه الموصلات والقناع.

الفسفور الأبيض-Z-120A نظام تحديد المواقع رقاقة هو مثال على ذلك. تم تصميم المرحلة خصيصًا للتطبيقات عالية الإنتاجية، وتجمع بين أوقات الاستجابة بالمللي ثانية والحركة الخالية من الاحتكاك على مدى حلقة مغلقة تبلغ 120 ميكرومتر. يمكن للمنتج التعامل مع الرقائق ورقائق الويفر بحجم 300 مم حتى 8 كجم.

تشمل الأنظمة الفرعية الأساسية الأخرى في محفظة كوينزجيت OP400 وOP800 الماسحات الضوئية الموضوعية بيزو - توفر ما يصل إلى 400 و800 ميكرومتر من الحركة على التوالي، مع أجهزة استشعار سعوية توفر دقة تحديد المواقع دون نانومتر وإمكانية التكرار. وفي الوقت نفسه، تتوفر الآن خيارات تصنيع المعدات الأصلية لعائلة مكونة من أدوات تحديد المواقع Z "عالية التحميل". لوضع النظام البصري بأكمله في إعداد قياس سطحي ثلاثي الأبعاد (ومتوافق مع الأحمال التي يصل وزنها إلى 3 كجم ونطاقات السفر حتى 15 ميكرومتر).

الطابع الزمني:

اكثر من عالم الفيزياء