হিটাচি হাই-টেক ওয়েফার নির্মাতাদের জন্য উচ্চ-সংবেদনশীলতা এবং উচ্চ-থ্রুপুট ওয়েফার সারফেস ইন্সপেকশন সিস্টেম LS9300AD চালু করেছে

টোকিও, মার্চ 15, 2024 - (JCN নিউজওয়্যার) - হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন ("হিটাচি হাই-টেক") LS9300AD চালু করার ঘোষণা দিয়েছে, কণা এবং ত্রুটির জন্য নন-প্যাটার্নযুক্ত ওয়েফার পৃষ্ঠের সামনে এবং পিছনের দিকে পরিদর্শনের জন্য একটি নতুন সিস্টেম। প্রচলিত ডার্ক-ফিল্ড লেজার স্ক্যাটারিং বিদেশী উপাদান এবং ত্রুটি সনাক্তকরণের পাশাপাশি, LS9300AD একটি নতুন DIC (ডিফারেনশিয়াল ইন্টারফারেন্স কনট্রাস্ট) পরিদর্শন ফাংশন দিয়ে সজ্জিত যা অনিয়মিত ত্রুটিগুলি, এমনকি অগভীর, নিম্ন দিক * 1 মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটিগুলি সনাক্ত করতে সক্ষম করে। LS9300AD-এর ওয়েফার এজ গ্রিপ মেথড*2 এবং রোটেটিং স্টেজ রয়েছে যা বর্তমানে প্রচলিত পণ্যগুলিতে সামনে এবং পিছনের ওয়েফার পরিদর্শন সক্ষম করতে ব্যবহৃত হয়৷ LS9300AD প্রবর্তনের সাথে সাথে, Hitachi হাই-টেক সেমিকন্ডাক্টর এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রস্তুতকারক ডিভাইসগুলির জন্য কম পরিদর্শন খরচ এবং উন্নত ফলন সক্ষম করে৷ উচ্চ-সংবেদনশীলতা এবং নিম্ন-দৃষ্টির মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটিগুলির উচ্চ-থ্রুপুট সনাক্তকরণ প্রদান করে।

*1নিম্ন দিক: সাধারণত, আকৃতির অনুপাত একটি আয়তক্ষেত্রের অনুপাতকে বোঝায়। এই রিলিজে, "নিম্ন-দৃষ্টি" বলতে ওয়েফারের পৃষ্ঠের এবং পিছনের দিকের অনিয়মকে বোঝায়, গভীরতা থেকে প্রস্থের একটি অত্যন্ত ছোট অনুপাত সহ মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটিগুলি। পরিদর্শন সময় প্রান্ত নতুন পণ্য উন্নয়ন পটভূমি

নন-প্যাটার্নযুক্ত সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলির পরিদর্শন (সার্কিট প্যাটার্ন গঠনের আগে) পৃষ্ঠতল এবং পিছনের পৃষ্ঠগুলি ওয়েফার চালান এবং গ্রহণের সময় গুণমান নিশ্চিতকরণে ব্যবহৃত হয়েছে, সেইসাথে বিভিন্ন সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে কণা নিয়ন্ত্রণের জন্য। সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার নির্মাতারা এটি ব্যবহার করে ওয়েফার উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন ঘটে এমন ত্রুটি এবং কণা পরিদর্শন করার জন্য মান নিয়ন্ত্রণ। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলি ছোট এবং আরও জটিল হয়ে উঠেছে, তাই অর্ধপরিবাহী ডিভাইস উত্পাদন প্রক্রিয়ার ফলনকে প্রভাবিত করে এমন ত্রুটি এবং বিদেশী পদার্থের আকার ছোট হয়ে গেছে। এই কারণে, ওয়েফারগুলির পৃষ্ঠ এবং পিছনের নিম্ন-আকৃতির মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটি সহ সমস্ত ধরণের ত্রুটিগুলি পরিচালনার প্রয়োজনীয়তা বাড়ছে। সামাজিক পরিবেশের পরিবর্তনের প্রতিক্রিয়ায় সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন বৃদ্ধি পাবে বলে আশা করা হচ্ছে। পরিদর্শন খরচ নিয়ন্ত্রণ করতে, উচ্চ-সংবেদনশীলতা এবং উচ্চ-থ্রুপুট পরিদর্শন সরঞ্জাম প্রয়োজন।

মূল নতুন প্রযুক্তি

প্রচলিত ডার্ক-ফিল্ড লেজার স্ক্যাটারিং ছাড়াও, LS9300AD-তে একটি নতুন DIC অপটিক্যাল সিস্টেম রয়েছে যা উচ্চ-সংবেদনশীলতা, উচ্চ-থ্রুপুট পরিদর্শন এবং নিম্ন-আদর্শ মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটি সনাক্তকরণ উভয়ই সক্ষম করে।

(1) অন্তর্নির্মিত ডিআইসি অপটিক্স

যখন একটি অন্ধকার-ক্ষেত্র লেজার ওয়েফার পৃষ্ঠকে আলোকিত করে, তখন DIC লেজার থেকে পৃথক দুটি বিম ওয়েফার পৃষ্ঠের দুটি ভিন্ন বিন্দুকে বিকিরণ করে। যখন ডিআইসি লেজার দ্বারা বিকিরণিত দুটি বিন্দুর মধ্যে ওয়েফার পৃষ্ঠের উচ্চতার মধ্যে পার্থক্য থাকে, তখন পার্থক্য থেকে উৎপন্ন ডিফারেনশিয়াল ইন্টারফারেন্স সিগন্যালের ফেজ কন্ট্রাস্ট ওয়েফার পৃষ্ঠের অসমতার একটি উচ্চ-কন্ট্রাস্ট চিত্র তৈরি করে। ফলস্বরূপ, ওয়েফার পৃষ্ঠে নিম্ন-দৃষ্টির মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটিগুলির উচ্চতা, এলাকা এবং অবস্থানের তথ্য সনাক্ত করা সম্ভব, যা পূর্ববর্তী কৌশলগুলি ব্যবহার করে সনাক্ত করা কঠিন ছিল।

(2) নতুন DIC-সামঞ্জস্যপূর্ণ ডেটা প্রসেসিং সিস্টেম

ডিআইসি অপটিক্যাল সিস্টেমের পাশাপাশি, একটি ডার্ক-ফিল্ড লেজার স্ক্যাটারিং অপটিক্যাল সিস্টেম এবং ডিআইসি অপটিক্যাল সিস্টেমের মাধ্যমে প্রাপ্ত ত্রুটির তথ্যের জন্য একটি ডেটা প্রসেসিং সিস্টেম ইনস্টল করা হয়েছে। এটি ডিআইসি অপটিক্যাল সিস্টেম থেকে ডার্ক-ফিল্ড লেজার স্ক্যাটারিং এবং পরিদর্শন মানচিত্রগুলির একযোগে আউটপুট সক্ষম করে, উচ্চ-সংবেদনশীলতা পরিদর্শন সক্ষম করে, এমনকি কম-দৃষ্টিগত ত্রুটি ডেটারও, উচ্চ পরিদর্শন গতি বজায় রাখে।

LS9300AD, সেইসাথে ইলেক্ট্রন বিম প্রযুক্তি এবং আমাদের অপটিক্যাল ওয়েফার পরিদর্শন সিস্টেম ব্যবহার করে আমাদের মেট্রোলজি সিস্টেমগুলি অফার করে, Hitachi High-Tech সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া জুড়ে প্রক্রিয়াকরণ, পরিমাপ এবং পরিদর্শনের ক্ষেত্রে গ্রাহকদের চাহিদা মেটাতে কাজ করছে। আমরা আসন্ন প্রযুক্তির চ্যালেঞ্জগুলির জন্য আমাদের পণ্যগুলিতে উদ্ভাবনী এবং ডিজিটালভাবে উন্নত সমাধান প্রদান করা চালিয়ে যাব এবং আমাদের গ্রাহকদের সাথে একত্রে নতুন মান তৈরি করব, সেইসাথে অত্যাধুনিক উত্পাদনে অবদান রাখব।

হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন সম্পর্কে

হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন, জাপানের টোকিওতে সদর দফতর, ক্লিনিকাল বিশ্লেষক, জৈবপ্রযুক্তি পণ্য এবং বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্র, অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সরঞ্জাম এবং বিশ্লেষণ সরঞ্জাম উত্পাদন এবং বিক্রয় সহ বিস্তৃত ক্ষেত্রের কার্যক্রমে নিযুক্ত রয়েছে। এবং সামাজিক ও শিল্প অবকাঠামো এবং গতিশীলতার ক্ষেত্রে উচ্চ মূল্য সংযোজন সমাধান প্রদান করে। JPY 2022 বিলিয়ন। আরও তথ্যের জন্য, দেখুন https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

যোগাযোগ:
ইউউকি মিনাটানি ব্যবসায়িক পরিকল্পনা বিভাগ, মেট্রোলজি সিস্টেম বিভাগ, ন্যানো-টেকনোলজি সলিউশন বিজনেস গ্রুপ, হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

• এসইও চালিত বিষয়বস্তু এবং পিআর বিতরণ। আজই পরিবর্ধিত পান।
• PlatoData.Network উল্লম্ব জেনারেটিভ Ai. নিজেকে ক্ষমতায়িত করুন। এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটোএআইস্ট্রিম। Web3 ইন্টেলিজেন্স। জ্ঞান প্রসারিত. এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটোইএসজি। কার্বন, ক্লিনটেক, শক্তি, পরিবেশ সৌর, বর্জ্য ব্যবস্থাপনা. এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটো হেলথ। বায়োটেক এবং ক্লিনিক্যাল ট্রায়াল ইন্টেলিজেন্স। এখানে প্রবেশ করুন.
• উত্স: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/