Η Hitachi High-Tech λανσάρει σύστημα επιθεώρησης επιφάνειας πλακιδίων υψηλής ευαισθησίας και υψηλής απόδοσης LS9300AD για κατασκευαστές γκοφρετών

ΤΟΚΙΟ, 15 Μαρτίου 2024 – (JCN Newswire) – Η Hitachi High-Tech Corporation («Hitachi High-Tech») ανακοίνωσε την κυκλοφορία του LS9300AD, ενός νέου συστήματος για την επιθεώρηση της μπροστινής και της πίσω πλευράς επιφανειών πλακιδίων χωρίς σχέδια για σωματίδια και ελαττώματα. Εκτός από τη συμβατική ανίχνευση σκέδασης λέιζερ σκοτεινού πεδίου ξένων υλικών και ελαττωμάτων, το LS9300AD είναι εξοπλισμένο με μια νέα λειτουργία επιθεώρησης DIC (Differential Interference Contrast) που επιτρέπει τον εντοπισμό ακανόνιστων ελαττωμάτων, ακόμη και ρηχών μικροσκοπικών ελαττωμάτων χαμηλής όψης*1. Το LS9300AD έχει τη μέθοδο λαβής ακμών γκοφρέτας*2 και το στάδιο περιστροφής που χρησιμοποιείται επί του παρόντος σε συμβατικά προϊόντα για να επιτρέπει την επιθεώρηση μπροστινών και πίσω πλακών. Με την εισαγωγή του LS9300AD, η Hitachi High-Tech επιτρέπει μειωμένο κόστος επιθεώρησης και βελτιωμένη απόδοση για γκοφρέτες ημιαγωγών και κατασκευαστές συσκευών ημιαγωγών Παρέχοντας ανίχνευση υψηλής ευαισθησίας και υψηλής απόδοσης μικροσκοπικών ελαττωμάτων χαμηλής όψης.

*1Χαμηλή όψη: Γενικά, ο λόγος διαστάσεων αναφέρεται στον λόγο διαστάσεων ενός ορθογωνίου. Σε αυτήν την έκδοση, το "low-aspect" αναφέρεται σε ανωμαλίες στην επιφάνεια και την πίσω πλευρά της γκοφρέτας, μικροσκοπικά ελαττώματα με εξαιρετικά μικρή αναλογία βάθους προς πλάτος. άκρη κατά την επιθεώρηση Νέο Υπόβαθρο ανάπτυξης προϊόντος

Η επιθεώρηση επιφανειών και επιφανειών πίσω πλευράς πλακών χωρίς μοτίβο (πριν από το σχηματισμό σχεδίου κυκλώματος) έχει χρησιμοποιηθεί για τη διασφάλιση ποιότητας κατά την αποστολή και την αποδοχή των πλακών, καθώς και για τον έλεγχο σωματιδίων σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής συσκευών ημιαγωγών. Οι κατασκευαστές γκοφρετών ημιαγωγών, το χρησιμοποιούν για ποιοτικός έλεγχος για επιθεώρηση ελαττωμάτων και σωματιδίων που εμφανίζονται κατά τη διαδικασία κατασκευής γκοφρέτας. Τα τελευταία χρόνια, οι συσκευές ημιαγωγών έχουν γίνει μικρότερες και πιο περίπλοκες, επομένως το μέγεθος των ελαττωμάτων και των ξένων υλών που επηρεάζουν την απόδοση στη διαδικασία κατασκευής συσκευών ημιαγωγών έχει γίνει μικρότερο. Εξαιτίας αυτού, η ανάγκη για διαχείριση όλων των τύπων ελαττωμάτων, συμπεριλαμβανομένων των μικροσκοπικών ελαττωμάτων χαμηλής όψης στην επιφάνεια και την πίσω πλευρά των πλακών, αυξάνεται. Ανταποκρινόμενη στις αλλαγές στο κοινωνικό περιβάλλον, η παραγωγή ημιαγωγών αναμένεται να αυξηθεί. Για τον έλεγχο του κόστους επιθεώρησης, απαιτείται εξοπλισμός επιθεώρησης υψηλής ευαισθησίας και υψηλής απόδοσης.

Βασικές Νέες Τεχνολογίες

Εκτός από τη συμβατική σκέδαση λέιζερ σκοτεινού πεδίου, το LS9300AD διαθέτει ένα νέο οπτικό σύστημα DIC που επιτρέπει επιθεώρηση υψηλής ευαισθησίας, υψηλής απόδοσης και ανίχνευση μικροσκοπικών ελαττωμάτων χαμηλής όψης.

(1) Ενσωματωμένο οπτικό DIC

Ενώ ένα λέιζερ σκοτεινού πεδίου ακτινοβολεί την επιφάνεια του πλακιδίου, δύο ακτίνες που χωρίζονται από το λέιζερ DIC ακτινοβολούν δύο διαφορετικά σημεία στην επιφάνεια του πλακιδίου. Όταν υπάρχει διαφορά ύψους στην επιφάνεια του πλακιδίου μεταξύ των δύο σημείων που ακτινοβολούνται από το λέιζερ DIC, η αντίθεση φάσης του σήματος διαφορικής παρεμβολής που δημιουργείται από τη διαφορά δημιουργεί μια εικόνα υψηλής αντίθεσης ανομοιομορφίας της επιφάνειας του πλακιδίου. Ως αποτέλεσμα, είναι δυνατό να ανιχνευθούν πληροφορίες ύψους, περιοχής και θέσης μικροσκοπικών ελαττωμάτων χαμηλής όψης στην επιφάνεια του πλακιδίου, τα οποία ήταν δύσκολο να εντοπιστούν χρησιμοποιώντας προηγούμενες τεχνικές.

(2) Νέο σύστημα επεξεργασίας δεδομένων συμβατό με DIC

Μαζί με το οπτικό σύστημα DIC, εγκαθίστανται ένα οπτικό σύστημα σκέδασης λέιζερ σκοτεινού πεδίου και ένα σύστημα επεξεργασίας δεδομένων για πληροφορίες ελαττωμάτων που λαμβάνονται μέσω του οπτικού συστήματος DIC. Αυτό επιτρέπει την ταυτόχρονη έξοδο σκέδασης λέιζερ σκοτεινού πεδίου και χαρτών επιθεώρησης από το οπτικό σύστημα DIC, επιτρέποντας επιθεώρηση υψηλής ευαισθησίας, ακόμη και δεδομένων ελαττωμάτων χαμηλής όψης, διατηρώντας παράλληλα υψηλή ταχύτητα επιθεώρησης.

Προσφέροντας το LS9300AD, καθώς και τα μετρολογικά μας συστήματα που χρησιμοποιούν τεχνολογία δέσμης ηλεκτρονίων και τα οπτικά μας συστήματα επιθεώρησης πλακιδίων, η Hitachi High-Tech εργάζεται για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών σε επεξεργασία, μέτρηση και επιθεώρηση σε όλη τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Θα συνεχίσουμε να παρέχουμε καινοτόμες και ψηφιακά βελτιωμένες λύσεις στα προϊόντα μας για τις επερχόμενες τεχνολογικές προκλήσεις και να δημιουργούμε νέα αξία μαζί με τους πελάτες μας, καθώς και να συμβάλλουμε στην κατασκευή αιχμής.

Σχετικά με την Hitachi High-Tech Corporation

Η Hitachi High-Tech Corporation, με έδρα το Τόκιο της Ιαπωνίας, δραστηριοποιείται σε ένα ευρύ φάσμα τομέων, συμπεριλαμβανομένης της κατασκευής και πώλησης κλινικών αναλυτών, προϊόντων βιοτεχνολογίας και αναλυτικών οργάνων, εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών και εξοπλισμού ανάλυσης. και παροχή λύσεων υψηλής προστιθέμενης αξίας σε τομείς κοινωνικών και βιομηχανικών υποδομών και κινητικότητας κ.λπ. Τα ενοποιημένα έσοδα της εταιρείας για το 2022 ήταν περίπου. 674.2 δισεκατομμύρια JPY. Για περισσότερες πληροφορίες, επισκεφθείτε https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

Επαφή:
Yuuki Minatani Τμήμα Επιχειρηματικού Σχεδιασμού, Τομέας Μετρολογικών Συστημάτων, Επιχειρηματικός Όμιλος Λύσεων Νανο-Τεχνολογίας, Hitachi High-Tech Corporation
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

• SEO Powered Content & PR Distribution. Ενισχύστε σήμερα.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. Ενδυναμώστε τον εαυτό σας. Πρόσβαση εδώ.
• PlatoAiStream. Web3 Intelligence. Ενισχύθηκε η γνώση. Πρόσβαση εδώ.
• PlatoESG. Ανθρακας, Cleantech, Ενέργεια, Περιβάλλον, Ηλιακός, Διαχείριση των αποβλήτων. Πρόσβαση εδώ.
• PlatoHealth. Ευφυΐα βιοτεχνολογίας και κλινικών δοκιμών. Πρόσβαση εδώ.
• πηγή: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/