हिताची हाई-टेक ने वेफर निर्माताओं के लिए उच्च-संवेदनशीलता और उच्च-थ्रूपुट वेफर सतह निरीक्षण प्रणाली LS9300AD लॉन्च की

टोक्यो, मार्च 15, 2024 - (जेसीएन न्यूज़वायर) - हिताची हाई-टेक कॉर्पोरेशन ("हिताची हाई-टेक") ने LS9300AD के लॉन्च की घोषणा की, जो कणों और दोषों के लिए गैर-पैटर्न वाली वेफर सतहों के सामने और पीछे के निरीक्षण के लिए एक नई प्रणाली है। विदेशी सामग्री और दोषों का पारंपरिक डार्क-फील्ड लेजर स्कैटरिंग पता लगाने के अलावा, LS9300AD एक नए DIC (डिफरेंशियल इंटरफेरेंस कंट्रास्ट) निरीक्षण फ़ंक्शन से सुसज्जित है जो अनियमित दोषों, यहां तक ​​कि उथले, कम पहलू * 1 सूक्ष्म दोषों का पता लगाने में सक्षम बनाता है। LS9300AD में वेफर एज ग्रिप विधि * 2 और रोटेटिंग स्टेज है जो वर्तमान में पारंपरिक उत्पादों में फ्रंट और बैकसाइड वेफर निरीक्षण को सक्षम करने के लिए उपयोग किया जाता है। LS9300AD की शुरूआत के साथ, हिताची हाई-टेक निरीक्षण लागत को कम करने और सेमीकंडक्टर वेफर्स और सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माताओं के लिए बेहतर उपज को सक्षम बनाता है। निम्न-पहलू सूक्ष्म दोषों की उच्च-संवेदनशीलता और उच्च-थ्रूपुट पहचान प्रदान करना।

*1निम्न-पहलू: आम तौर पर, पहलू अनुपात एक आयत के पहलू अनुपात को संदर्भित करता है। इस रिलीज में, "लो-एस्पेक्ट" का तात्पर्य वेफर की सतह और पिछले हिस्से पर अनियमितताओं, गहराई और चौड़ाई के बेहद छोटे अनुपात वाले सूक्ष्म दोषों से है। *2 वेफर एज ग्रिप विधि: एक विधि जिसमें वेफर को केवल उसी पर तय किया जाता है निरीक्षण के दौरान बढ़तनए उत्पाद विकास पृष्ठभूमि

गैर-पैटर्न वाले सेमीकंडक्टर वेफर्स (सर्किट पैटर्न निर्माण से पहले) सतहों और बैकसाइड सतहों के निरीक्षण का उपयोग वेफर्स शिपमेंट और स्वीकृति के दौरान गुणवत्ता आश्वासन के साथ-साथ विभिन्न सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण प्रक्रियाओं में कण नियंत्रण के लिए किया गया है। सेमीकंडक्टर वेफर्स निर्माता, इसका उपयोग करते हैं वेफर निर्माण प्रक्रिया के दौरान होने वाले दोषों और कणों का निरीक्षण करने के लिए गुणवत्ता नियंत्रण। हाल के वर्षों में, अर्धचालक उपकरण छोटे और अधिक जटिल हो गए हैं, इसलिए अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रक्रिया में उपज को प्रभावित करने वाले दोषों और विदेशी पदार्थों का आकार छोटा हो गया है। इसके कारण, वेफर्स की सतह और पिछले हिस्से पर कम पहलू वाले सूक्ष्म दोषों सहित सभी प्रकार के दोषों के प्रबंधन की आवश्यकता बढ़ रही है। सामाजिक परिवेश में परिवर्तनों के जवाब में अर्धचालक उत्पादन में वृद्धि होने की उम्मीद है। निरीक्षण लागत को नियंत्रित करने के लिए, उच्च-संवेदनशीलता और उच्च-थ्रूपुट निरीक्षण उपकरण की आवश्यकता होती है।

प्रमुख नई प्रौद्योगिकियाँ

पारंपरिक डार्क-फील्ड लेजर स्कैटरिंग के अलावा, LS9300AD में एक नया DIC ऑप्टिकल सिस्टम है जो उच्च-संवेदनशीलता, उच्च-थ्रूपुट निरीक्षण और कम-पहलू सूक्ष्म दोषों का पता लगाने में सक्षम बनाता है।

(1) बिल्ट-इन डीआईसी ऑप्टिक्स

जबकि एक डार्क-फील्ड लेजर वेफर सतह को विकिरणित करता है, डीआईसी लेजर से अलग की गई दो किरणें वेफर सतह पर दो अलग-अलग बिंदुओं को विकिरणित करती हैं। जब डीआईसी लेजर द्वारा विकिरणित दो बिंदुओं के बीच वेफर सतह पर ऊंचाई में अंतर होता है, तो अंतर से उत्पन्न अंतर हस्तक्षेप संकेत का चरण कंट्रास्ट वेफर सतह असमानता की एक उच्च-विपरीत छवि बनाता है। परिणामस्वरूप, वेफर सतह पर निम्न-पहलू सूक्ष्म दोषों की ऊंचाई, क्षेत्र और स्थिति की जानकारी का पता लगाना संभव है, जिसे पिछली तकनीकों का उपयोग करके पता लगाना मुश्किल था।

(2) नया डीआईसी-संगत डेटा प्रोसेसिंग सिस्टम

डीआईसी ऑप्टिकल सिस्टम के साथ, एक डार्क-फील्ड लेजर स्कैटरिंग ऑप्टिकल सिस्टम और डीआईसी ऑप्टिकल सिस्टम के माध्यम से प्राप्त दोष जानकारी के लिए एक डेटा प्रोसेसिंग सिस्टम स्थापित किया गया है। यह डीआईसी ऑप्टिकल सिस्टम से डार्क-फील्ड लेजर स्कैटरिंग और निरीक्षण मानचित्रों के एक साथ आउटपुट को सक्षम बनाता है, उच्च निरीक्षण गति को बनाए रखते हुए, कम-पहलू दोष डेटा के भी उच्च-संवेदनशीलता निरीक्षण को सक्षम करता है।

LS9300AD, साथ ही इलेक्ट्रॉन बीम तकनीक और हमारे ऑप्टिकल वेफर निरीक्षण सिस्टम का उपयोग करके हमारे मेट्रोलॉजी सिस्टम की पेशकश करके, हिताची हाई-टेक सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया के दौरान प्रसंस्करण, माप और निरीक्षण में ग्राहकों की जरूरतों को पूरा करने के लिए काम कर रहा है। हम आगामी प्रौद्योगिकी चुनौतियों के लिए अपने उत्पादों के लिए नवीन और डिजिटल रूप से उन्नत समाधान प्रदान करना जारी रखेंगे, और अपने ग्राहकों के साथ मिलकर नए मूल्य बनाएंगे, साथ ही अत्याधुनिक विनिर्माण में योगदान देंगे।

हिताची हाई-टेक कॉर्पोरेशन के बारे में

हिताची हाई-टेक कॉर्पोरेशन, जिसका मुख्यालय टोक्यो, जापान में है, नैदानिक ​​​​विश्लेषक, जैव प्रौद्योगिकी उत्पादों और विश्लेषणात्मक उपकरणों, अर्धचालक विनिर्माण उपकरण और विश्लेषण उपकरणों के निर्माण और बिक्री सहित कई क्षेत्रों में गतिविधियों में लगा हुआ है। और सामाजिक और औद्योगिक बुनियादी ढांचे और गतिशीलता आदि के क्षेत्र में उच्च मूल्य वर्धित समाधान प्रदान करना। वित्त वर्ष 2022 के लिए कंपनी का समेकित राजस्व लगभग था। जेपीवाई 674.2 बिलियन। अधिक जानकारी के लिए विजिट करें https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

संपर्क करें:
युकी मिनाटानिबिजनेस प्लानिंग विभाग, मेट्रोलॉजी सिस्टम्स डिविजन, नैनो-टेक्नोलॉजी सॉल्यूशन बिजनेस ग्रुप, हिताची हाई-टेक कॉर्पोरेशन
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

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• स्रोत: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/