היטאצ'י הייטק משיקה מערכת לבדיקת משטחי וופרים ברגישות גבוהה ובתפוקה גבוהה LS9300AD עבור יצרני ופלים

טוקיו, 15 במרץ 2024 - (JCN Newswire) - Hitachi High-Tech Corporation ("Hitachi High-Tech") הודיעה על השקת ה-LS9300AD, מערכת חדשה לבדיקת החלק הקדמי והאחורי של משטחי רקיק ללא דוגמה לאיתור חלקיקים ופגמים. בנוסף לזיהוי פיזור לייזר בשדה כהה הקונבנציונלי של חומר זר ופגמים, ה-LS9300AD מצויד בפונקציית בדיקה חדשה של DIC (Differential Interference Contrast) המאפשרת זיהוי של פגמים לא סדירים, אפילו רדודים, פגמים מיקרוסקופיים*1. ל-LS9300AD יש את שיטת אחיזת הקצה של רקיק*2 והשלב המסתובב המשמש כיום במוצרים קונבנציונליים כדי לאפשר בדיקת פרוסות קדמיות ואחוריות. עם הצגת LS9300AD, Hitachi High-Tech מאפשר עלויות בדיקה מופחתות ותפוקה משופרת עבור פרוסות מוליכים למחצה ומכשירי מוליכים למחצה על ידי יצרני התקני מוליכים למחצה. מתן רגישות גבוהה ותפוקה גבוהה של פגמים מיקרוסקופיים בעלי היבט נמוך.

*1-גובה-גובה-רוחב: בדרך כלל, יחס רוחב-גובה מתייחס ליחס-גובה-רוחב של מלבן. במהדורה זו, "היבט נמוך" מתייחס לאי-סדירות על פני השטח ובצד האחורי של הפרוסה, פגמים מיקרוסקופיים עם יחס קטן במיוחד של עומק לרוחב.*2שיטת אחיזת קצה רקיק: שיטה שבה ה-Wafer מקובע רק ב-Wafer. יתרון במהלך בדיקה רקע פיתוח מוצר חדש

בדיקת פרוסות מוליכים למחצה ללא דפוס (לפני יצירת דפוס מעגלים) המשטחים והמשטחים האחוריים שימשו בהבטחת איכות במהלך משלוח וקבלה של פרוסות, כמו גם עבור בקרת חלקיקים בתהליכי ייצור שונים של התקני מוליכים למחצה. יצרני פרוסות מוליכים למחצה, השתמשו בו עבור בקרת איכות לבדיקת פגמים וחלקיקים המתרחשים במהלך תהליך ייצור הפרוסות. בשנים האחרונות, התקני מוליכים למחצה הפכו קטנים ומורכבים יותר, כך שגודלם של פגמים וחומרים זרים המשפיעים על התפוקה בתהליך ייצור התקני המוליכים למחצה הצטמצמו. בשל כך, הולך וגדל הצורך בניהול כל סוגי הפגמים, כולל פגמים מיקרוסקופיים בעלי היבט נמוך על פני השטח והגב של פרוסות. התגובה לשינויים בסביבה החברתית ייצור המוליכים למחצה צפוי לעלות. כדי לשלוט בעלויות הבדיקה, נדרש ציוד בדיקה בעל רגישות גבוהה ותפוקה גבוהה.

טכנולוגיות מפתח חדשות

בנוסף לפיזור לייזר קונבנציונלי בשדה כהה, ל-LS9300AD יש מערכת אופטית DIC חדשה המאפשרת בדיקת רגישות גבוהה, תפוקה גבוהה וזיהוי פגמים מיקרוסקופיים בהיבט נמוך.

(1) אופטיקה DIC מובנית

בעוד לייזר שדה כהה מקרין את משטח הפרוסה, שתי אלומות המופרדות מהלייזר DIC מקרינות שתי נקודות שונות על פני הפרוסה. כאשר יש הבדל בגובה על משטח הפרוסים בין שתי הנקודות המוקרנות על ידי הלייזר DIC, ניגודיות הפאזה של אות ההפרעות הדיפרנציאלי שנוצר מההבדל יוצרת תמונה בעלת ניגודיות גבוהה של אי אחידות משטח הפרוסה. כתוצאה מכך, ניתן לזהות את מידע הגובה, השטח והמיקום של פגמים מיקרוסקופיים בעלי היבט נמוך על פני הפרוסה, דבר שהיה קשה לזיהוי באמצעות טכניקות קודמות.

(2) מערכת חדשה לעיבוד נתונים תואמת DIC

יחד עם המערכת האופטית DIC, מותקנות מערכת אופטית לפיזור לייזר בשדה כהה ומערכת עיבוד נתונים למידע פגמים המתקבל באמצעות המערכת האופטית DIC. זה מאפשר פלט סימולטני של פיזור לייזר בשדה כהה ומפות בדיקה מהמערכת האופטית DIC, המאפשר בדיקה ברגישות גבוהה, אפילו של נתוני פגמים בהיבט נמוך, תוך שמירה על מהירות בדיקה גבוהה.

על ידי הצעת LS9300AD, כמו גם את המערכות המטרולוגיות שלנו המשתמשות בטכנולוגיית אלומת אלקטרונים ומערכות בדיקת פרוסות אופטיות שלנו, Hitachi High-Tech פועלת לענות על צורכי הלקוחות בעיבוד, מדידה ובדיקה לאורך תהליך ייצור המוליכים למחצה. אנו נמשיך לספק פתרונות חדשניים ומשופרים דיגיטלית למוצרים שלנו עבור האתגרים הטכנולוגיים הקרובים, וליצור ערך חדש יחד עם לקוחותינו, כמו גם לתרום לייצור מתקדם.

על תאגיד הייטק היטאצ'י

Hitachi High-Tech Corporation, שבסיסה בטוקיו, יפן, עוסקת בפעילויות במגוון רחב של תחומים, לרבות ייצור ומכירה של מנתחים קליניים, מוצרי ביוטכנולוגיה ומכשירים אנליטיים, ציוד לייצור מוליכים למחצה וציוד ניתוח. ומתן פתרונות ערך מוסף גבוה בתחומי תשתיות חברתיות ותעשייתיות וניידות וכו'. ההכנסות המאוחדות של החברה לשנת 2022 היו כ. JPY 674.2 מיליארד. למידע נוסף, בקר https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

איש קשר:
Yuuki Minatani המחלקה לתכנון עסקי, מחלקה למערכות מטרולוגיה, הקבוצה העסקית של פתרונות ננו-טכנולוגיים, Hitachi High-Tech Corporation
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

• הפצת תוכן ויחסי ציבור מופעל על ידי SEO. קבל הגברה היום.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. העצים את עצמך. גישה כאן.
• PlatoAiStream. Web3 Intelligence. הידע מוגבר. גישה כאן.
• PlatoESG. פחמן, קלינטק, אנרגיה, סביבה, שמש, ניהול פסולת. גישה כאן.
• PlatoHealth. מודיעין ביוטכנולוגיה וניסויים קליניים. גישה כאן.
• מקור: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/