מטרולוגיה של מוליכים למחצה: מיקום הוא המפתח - עולם הפיזיקה

מטרולוגיה של מוליכים למחצה: מיקום הוא המפתח - עולם הפיזיקה

תת-מערכות מיקום מומחים מספקות אבני יסוד בפתרונות מדידה ובדיקה תלת-ממדית עבור תעשיית המוליכים למחצה

<a href="https://platoblockchain.com/wp-content/uploads/2024/02/semiconductor-metrology-positioning-is-key-physics-world-2.jpg" data-fancybox data-src="https://platoblockchain.com/wp-content/uploads/2024/02/semiconductor-metrology-positioning-is-key-physics-world-2.jpg" data-caption="אבטחת איכות טכנולוגיות פלטפורמה מ-Prior Scientific ו-Queensgate משולבות במערכות בדיקה אופטיות של OEM עבור יישומי מו"פ וייצור נפחי על פני שרשרת האספקה ​​של מוליכים למחצה. (באדיבות: קווינסגייט)"> אינטרפרומטר קווינסגייט
אבטחת איכות טכנולוגיות פלטפורמה מ-Prior Scientific ו-Queensgate משולבות במערכות בדיקה אופטיות של OEM עבור יישומי מו"פ וייצור נפחי על פני שרשרת האספקה ​​של מוליכים למחצה. (באדיבות: קווינסגייט)

חברות אחיות מדעי קודם ו קווינסגייט מציעים פורטפוליו מגוון של טכנולוגיות המאפשרות לעמוד בבסיס דרישות המיקום המהיר והדיוק הגבוה של מערכות מטרולוגיה אופטית תלת מימדית המשמשות בייצור מוליכים למחצה ומו"פ יישומי. עולם הפיזיקה שוחח עם מנהל המוצר של קווינסגייט קרייג גודמן על טכנולוגיה מתפתחת והזדמנויות מסחריות בשרשרת האספקה ​​של מוליכים למחצה.

מדוע מטרולוגיה משטח ללא מגע היא קריטית בייצור מוליכים למחצה?

כאשר תעשיית המוליכים למחצה עוברת מפרוסות בגודל 8 אינץ' ל-12 אינץ' (300 מ"מ) ותכונות קטנות יותר על פרוסות אלו (עד 5 ננומטר או בקירוב), הופכת בדיקה אופטית של תכונות ננומטריות אלה - מהימנות, שניתן לחזור עליהן ובמהירות גבוהה ודיוק גבוה. חשוב מתמיד. במילים פשוטות, מטרולוגיה אופטית תלת-ממדית היא חובה, עם הדרישה למערכות בדיקה אוטומטיות של פני השטח המסוגלות להעריך מאות אלפי מכשירים מיקרו-אלקטרוניים על רקיק בודד של 3 מ"מ. זה המקום שבו שלבי המיקום שלנו באים לידי ביטוי: "נקודה מתוקה" אמיתית עבור תת-מערכות הננו-מיצוב פיזואלקטריות וחיישנים קיבוליים שאנו מייצרים.

איך נראה בסיס הלקוחות הניתן להתייחסות שלך בתעשיית המוליכים למחצה?

ב-Prior Scientific ו-Queensgate, אנו מכוונים ליצרני OEM של מכשור שישלבו את מגוון הטכנולוגיות המאפשרות שלנו בדור הבא של מערכות מטרולוגיה אופטיות ללא מגע עבור פרופיל ובדיקה תלת-ממדית של פני השטח. במעלה הזרם בשרשרת החדשנות, אנו מוכרים גם מגוון מערכות מיקום למדענים ומהנדסים של מוליכים למחצה העובדים במסגרות מו"פ יישומיות.

כיצד מוצרי המיצוב שלך מועילים ליצרני המוליכים למחצה?

לאחר שילובם במערכות בדיקה אופטית OEM, המוצרים שלנו משמשים לתמיכה בחומרים ובפיתוח אב-טיפוס ברמת ההתקן בתוך מעבדות מו"פ מוליכים למחצה. בסביבת הייצור הנפחי, אותן מערכות מטרולוגיה משטחיות הן קריטיות להבטחת איכות ובקרת איכות, לניכוש פגמים וכשלים במכשיר ברמת הפרוסות - כלומר לפני שילוב התקנים אלה ברכיבים אלקטרוניים ארוזים. ההחזר ברור: על ידי זיהוי פגמים בשלב מוקדם של מחזור הבדיקה, יצרני המוליכים למחצה נמנעים מאותם מכשירים פגומים להיות מובנים בחבילה שלמה ומתגלים בהמשך פס הייצור במהלך בדיקות חשמליות.

מבחינה אסטרטגית, מדוע Prior Scientific ו-Queensgate שמות כל כך דגש על שוק המוליכים למחצה כרגע?

יש הזדמנויות צמיחה מתכנסות שנפתחות לספקי טכנולוגיה לתעשיית המוליכים למחצה. ברמת הכותרת, יש את הנושא של אבטחת מוליכים למחצה הקשורה למחסור באזורי שבבים במהלך מגיפת ה-COVID. בתור תגובה, קובעי המדיניות בארה"ב, באירופה ובבריטניה נעים באופן יזום להגדלת הקיבולת המקומית בייצור מוליכים למחצה. ישנו דרייבר טכנולוגי מקביל כאשר ייצור נפח עובר לפרוסות מוליכים למחצה בגודל 300 מ"מ, כאשר יצרני OEM של מכשור צריכים להנדס מחדש את מערכות המטרולוגיה האופטיות שלהם בהתאם. מה שתעשיית המוליכים למחצה רוצה, כסטנדרט, היא מערכות בדיקה אופטית עם תפוקה גבוהה, ניתנות להרחבה ואוטומטיות להנעת יעילות זרימת העבודה ואיכות המוצר.

<a data-fancybox data-src="https://physicsworld.com/wp-content/uploads/2024/02/web-Craig.jpg" data-caption="קרייג גודמן "יש הזדמנויות צמיחה מתכנסות שנפתחות לספקי טכנולוגיה לתעשיית המוליכים למחצה." (באדיבות: Queensgate)” title=”לחץ כדי לפתוח תמונה בפופאפ” href=”https://physicsworld.com/wp-content/uploads/2024/02/web-Craig.jpg”>קרייג גודמן

יש להניח שתעשיית הטכנולוגיה הקוונטית היא גם מנוע צמיחה עבור חברות מוליכים למחצה?

נכון. ההתקדמות בחישה קוונטית, רשתות קוונטיות ומחשוב קוונטי מבטיחות להניב טכנולוגיות ויישומים משנים משחק, כאשר תחומים משמעותיים של מו"פ ופיתוח חומרים תלויים בתהליכי ייצור מוליכים למחצה מסורתיים. הדברים נעים במהירות, כאשר חברות ברחבי שרשרת האספקה ​​הקוונטית המתפתחת מקווים להתקדם ממעבדת המחקר והפיתוח לעבר יישומים מסחריים ברי קיימא במוקדם ולא במאוחר.

איך Prior Scientific ו-Queensgate נשארות בקדמת העקומה בכל הנוגע לחדשנות מוצרים?

אנו עובדים בשיתוף פעולה הדוק עם קהילת המחקר כדי לעקוב במהירות אחר החדשנות הטכנולוגית הפנימית שלנו. מקרה בולט בהקשר זה הוא שלנו שיתוף פעולה מתמשך במו"פ עם המעבדה הפיזית הלאומית (NPL), המכון הלאומי למדידה בבריטניה. עם מימון מ ניתוח לחדשנים (A4I) - תוכנית המופעלת על ידי לחדש את בריטניה, סוכנות החדשנות של בריטניה - עשינו לאחרונה "צלילה עמוקה" לתוך האופי וההיקף של שגיאות תנועה טפיליות (מחוץ לציר) בשלבי הננו-מיקום הרב-צירים של קווינסגייט. בעבודה עם מדעני NPL, חקירה מפורטת זו הניבה מתודולוגיית תיקון וכיול מעשית לחיזוק הבטחת האיכות מקצה לקצה על פני תיק קווינסגייט של שלבי ננו-מיקום מונעי פייזו (כמו גם מאפשרת טכנולוגיות כגון מפעילי piezo, חיישנים קיבוליים, אלקטרוניקה בקרה ותוכנה).

איך נראית מפת הדרכים לפיתוח עבור תיק מוצרי המיצוב שלך ב-2024?

בטווח הקרוב, נשיק את המנחים החדשים שלנו בעומס גבוה - לתמרון הראש האופטי המלא במערכת מטרולוגיה משטח ללא מגע - כמו גם הוספת יכולת רב-צירית למגוון שלבי המיקום שלנו לדוגמה עבור פרוסות 300 מ"מ (עם קיבולת עומס לתמיכה בצ'אקים כבדים של ופל). כמו כן, בפיתוח אב טיפוס, ואמור לצאת מסחרית מלאה בהמשך השנה, נמצא שלב דגימת קצה/הטיה של ציר Z לעיבוד מתקדם של פרוסות סיליקון. המפתח: בעבודה משותפת, Prior Scientific ו-Queensgate יכולות לכסות את כל דרישות המיקום שלך למדידת פני שטח תלת-ממדית ובדיקה.

מאפשר טכנולוגיות ותתי מערכות למדידת פני שטח תלת מימדית

ממיקרוסקופים מחקריים ועד למערכות הדמיה אוטומטיות של פני השטח, Prior Scientific מספקת שלבי מיקום ממונעים, מעמיסים רובוטיים, פתרונות תאורה ותתי מערכות ליבה אחרות כדי לתמוך בדרישות המטרולוגיה של מו"פ וייצור מוליכים למחצה מתקדמים.

ה-H105F של פריור, למשל, הוא א שלב מנוע צעד XY ממונע (מהלך של 154 x 154 מ"מ) שיכול להכיל דוגמאות גדולות כולל פרוסות מוליכים למחצה, פוטומסכות ומעגלים מודפסים. חלק מאותה משפחת מוצרים, ה-H112 מספק טווח נסיעה מרבי של 302 על 302 מ"מ כדי להכיל פרוסות בגודל 300 מ"מ (תוך הבטחת תאימות עם מעמיסים רבים עם זרועות רובוט).

במקביל, פריור מייצרת מגוון של מכלולי אף אובייקטיביים ממונעים וידניים להשתלב במערכות אופטיות חדשות או קיימות בהתאמה אישית. חלקי האף נעים מהגדלה קבועה חד-אובייקטיבית עבור יישומי OEM ועד לאטום ממונע עם שישה מצבים עבור יישומי סריקה אוטומטיים הדורשים מטרות מרובות.

בהתאמה להיצע המוצרים של Prior Scientific, החברה האחות קווינסגייט מייצרת שלבי פייזו במהירות גבוהה ובדיוק גבוה וחיישנים קיבוליים עם רזולוציות פיקומטר נמוכות עבור מערכות ננו-מיקום המשמשות בבדיקת פרוסות מוליכים למחצה ומסכות.

ה-WP-Z-120A מערכת מיקום פרוסות הוא מקרה לגופו. השלב תוכנן עבור יישומים בעלי תפוקה גבוהה, ומשלב זמני תגובה של אלפיות שנייה עם תנועה נטולת חיכוך על פני טווח של 120 מיקרומטר בלולאה סגורה. המוצר יכול להתמודד עם פרוסות 300 מ"מ וצ'אקים של רקיק עד 8 ק"ג.

תת-מערכות ליבה אחרות בפורטפוליו של קווינסגייט כוללות את OP400 ו-OP800 סורקים אובייקטיביים piezo - מציע תנועה של עד 400 ו-800 מיקרומטר בהתאמה, עם חיישנים קיבוליים המעניקים רזולוציית מיקום תת-ננומטר וחזרה. בינתיים, אפשרויות OEM זמינות כעת עבור משפחה של מצבי Z "עומס גבוה". למיצוב המערכת האופטית כולה במערך מטרולוגיה משטח תלת מימד (ותואם לעומסים של עד 3 ק"ג ולטווחי נסיעה של עד 15 מיקרומטר).

בול זמן:

עוד מ עולם הפיזיקה