日立ハイテク、ウェーハメーカー向けに高感度・高スループットのウェーハ表面検査装置「LS9300AD」を発売

東京、15年2024月XNUMX日 – (JCN Newswire) – 株式会社日立ハイテク（以下「日立ハイテク」）は、パターンのないウェーハ表面の表裏面のパーティクルや欠陥を検査する新システム「LS9300AD」の発売を発表した。 LS9300ADは、従来の暗視野レーザー散乱による異物・欠陥検出に加え、新たにDIC（Differential Interference Contrast）検査機能を搭載し、浅い低アスペクト※1の微小欠陥でも不規則欠陥の検出が可能です。 LS9300ADは、従来製品で採用しているウェーハエッジグリップ方式*2と回転ステージを搭載し、ウェーハの表裏面検査を可能にします。 日立ハイテクは、LS9300ADの導入により、半導体ウェーハおよび半導体デバイスメーカーの検査コストの削減と歩留まりの向上を実現します。低アスペクトの微細な欠陥を高感度かつ高スループットで検出します。

※1ローアスペクト：一般にアスペクト比とは長方形の縦横比を指します。本リリースにおける「低アスペクト」とは、ウェーハの表面および裏面にある凹凸、幅に対する深さの比が極めて小さい微細な欠陥を指します。 ※2ウェーハエッジグリップ方式：ウェーハを端面のみで固定する方式。検査時のエッジ 新製品開発の背景

パターンのない半導体ウエハ（回路パターン形成前）の表面および裏面の検査は、ウエハの出荷・受入時の品質保証や、半導体デバイスのさまざまな製造工程におけるパーティクル管理などに活用されています。半導体ウエハメーカーでは、ウェーハの製造プロセス中に発生する欠陥やパーティクルを検査する品質管理。近年、半導体デバイスの微細化、複雑化が進んでおり、半導体デバイスの製造工程において歩留まりに影響を与える欠陥や異物のサイズは小さくなってきている。このため、ウェーハの表面や裏面にある低アスペクトの微細な欠陥を含むあらゆる種類の欠陥を管理する必要性が高まっています。社会環境の変化に対応し、半導体生産量の増加が見込まれています。検査コストを抑えるためには、高感度かつ高スループットの検査装置が必要です。

主な新技術

LS9300ADは、従来の暗視野レーザー散乱方式に加え、新たにDIC光学系を搭載し、高感度・高スループットの検査と低アスペクトの微細欠陥の検出を両立しました。

(1) DIC光学系を内蔵

暗視野レーザーがウェーハ表面を照射している間、DIC レーザーから分離された 2 つのビームがウェーハ表面上の 2 つの異なる点を照射します。 DICレーザーが照射した2点間にウェーハ表面の高低差がある場合、その差から生じる微分干渉信号の位相コントラストによりウェーハ表面の凹凸を高コントラストな画像として映し出します。これにより、従来技術では検出が困難であったウェーハ表面の低アスペクトの微細欠陥の高さ、面積、位置情報を検出することが可能になります。

(2) DIC対応の新データ処理システム

DIC光学系に加えて、暗視野レーザー散乱光学系とDIC光学系で得られた欠陥情報のデータ処理システムを搭載しています。これにより、DIC光学系による暗視野レーザー散乱と検査マップの同時出力が可能となり、高速な検査速度を維持しながら、低アスペクトの欠陥データであっても高感度検査が可能となります。

日立ハイテクは、「LS9300AD」をはじめ、電子線技術を用いた計測装置や光学式ウエハ検査装置を提供することで、半導体製造プロセスにおける加工・測定・検査におけるお客様のニーズに応えていきます。私たちは今後も、今後の技術課題に対して革新的かつデジタル化されたソリューションを製品に提供し、お客様とともに新たな価値を創造し、最先端のものづくりに貢献してまいります。

株式会社日立ハイテクについて

株式会社日立ハイテクは、東京に本社を置き、臨床分析装置、バイオテクノロジー製品、分析機器、半導体製造装置、分析装置の製造・販売など幅広い分野で事業を行っています。社会・産業インフラやモビリティなどの分野で付加価値の高いソリューションを提供する。2022年度の連結売上高は約674.2億XNUMX万円となった。 XNUMX億円。詳細については、次のサイトをご覧ください。 https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

お問合せ
皆谷 裕樹株式会社日立ハイテク ナノテクノロジーソリューション事業本部 計測システム事業部 事業企画部
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

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• 情報源： https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/