Hitachi High-Tech, 웨이퍼 제조업체를 위한 고감도, 고처리량 웨이퍼 표면 검사 시스템 LS9300AD 출시

도쿄, 15년 2024월 XNUMX일 – (JCN Newswire) – 히타치 하이테크 주식회사(“히타치 하이테크”)는 패턴화되지 않은 웨이퍼 표면의 앞면과 뒷면에서 파티클과 결함을 검사하는 새로운 시스템인 LS9300AD를 출시했다고 발표했습니다. LS9300AD는 기존의 암시야 레이저 산란 이물 및 결함 검출에 더해 불규칙한 결함, 얕은 저측면*1 미세한 결함까지 검출할 수 있는 새로운 DIC(미분 간섭 대비) 검사 기능을 탑재했습니다. LS9300AD는 기존 제품에 사용되는 웨이퍼 엣지 그립 방식*2과 회전 스테이지를 탑재하여 웨이퍼 전면 및 후면 검사가 가능합니다. 히타치 하이테크는 LS9300AD 출시를 통해 반도체 웨이퍼 및 반도체 장치 제조업체의 검사 비용 절감 및 수율 향상을 지원합니다. 낮은 종횡의 미세한 결함에 대한 고감도 및 높은 처리량 감지를 제공합니다.

*1낮은 종횡비: 일반적으로 종횡비는 직사각형의 종횡비를 나타냅니다. 이번 릴리스에서 "낮은 종횡비"란 웨이퍼 표면과 이면의 요철, 폭에 대한 깊이의 비율이 매우 작은 미세한 결함을 의미합니다.*2웨이퍼 에지 그립 방식: 웨이퍼를 웨이퍼 표면에만 고정하는 방식 검사 중 엣지 신제품 개발 배경

패터닝되지 않은 반도체 웨이퍼(회로 패턴 형성 전)의 표면과 이면 검사는 웨이퍼 출하 및 인수 시 품질 보증뿐만 아니라 다양한 반도체 장치 제조 공정의 파티클 제어에 사용되어 왔습니다. 반도체 웨이퍼 제조업체에서는 이를 사용합니다. 웨이퍼 제조 과정에서 발생하는 결함, 파티클 등을 검사하기 위한 품질관리입니다. 최근에는 반도체 소자가 소형화되고 복잡해짐에 따라 반도체 소자 제조 공정에서 수율에 영향을 미치는 결함 및 이물질의 크기가 작아지고 있습니다. 이로 인해 웨이퍼 표면과 이면의 저종횡비 미세결함을 비롯한 모든 형태의 결함을 관리해야 할 필요성이 높아지고 있습니다. 사회 환경 변화에 대응해 반도체 생산량도 늘어날 것으로 예상된다. 검사 비용을 관리하기 위해서는 고감도, 고처리량 검사 장비가 필요합니다.

주요 신기술

LS9300AD는 기존의 암시야 레이저 산란에 더해 고감도, 고처리량 검사, 낮은 종횡비의 미세한 결함 검출을 모두 가능하게 하는 새로운 DIC 광학 시스템을 갖추고 있습니다.

(1) 내장형 DIC 광학 장치

암시야 레이저는 웨이퍼 표면을 조사하는 반면, DIC 레이저에서 분리된 두 개의 빔은 웨이퍼 표면의 두 지점에 조사됩니다. DIC 레이저를 조사한 두 지점 사이의 웨이퍼 표면 높이에 차이가 있을 때, 그 차이에서 발생하는 미분 간섭 신호의 위상차가 웨이퍼 표면 요철에 대한 고대비 이미지를 생성합니다. 그 결과, 기존 기술로는 검출하기 어려웠던 웨이퍼 표면의 낮은 종횡비 미세 결함의 높이, 면적, 위치 정보를 검출할 수 있게 됐다.

(2) 새로운 DIC 호환 데이터 처리 시스템

DIC 광학계와 함께 암시야 레이저 산란 광학계와 DIC 광학계를 통해 얻은 결함 정보에 대한 데이터 처리 시스템이 설치되어 있습니다. 이를 통해 DIC 광학 시스템에서 암시야 레이저 산란 및 검사 맵을 동시에 출력할 수 있어 높은 검사 속도를 유지하면서 낮은 종횡비 결함 데이터에서도 고감도 검사가 가능합니다.

Hitachi High-Tech는 LS9300AD와 전자빔 기술을 사용한 계측 시스템, 광학 웨이퍼 검사 시스템을 제공함으로써 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 처리, 측정, 검사에 대한 고객의 요구를 충족시키기 위해 노력하고 있습니다. 앞으로도 우리는 다가오는 기술 과제에 맞춰 혁신적이고 디지털 방식으로 향상된 솔루션을 제품에 제공하고 고객과 함께 새로운 가치를 창출하는 동시에 최첨단 제조에 기여할 것입니다.

히타치 하이테크 주식회사에 대하여

일본 도쿄에 본사를 둔 Hitachi High-Tech Corporation은 임상 분석기, 생명공학 제품, 분석 기기, 반도체 제조 장비 및 분석 장비의 제조 및 판매를 포함하여 광범위한 분야에서 활동하고 있습니다. 사회 및 산업 인프라, 모빌리티 등 분야에서 고부가가치 솔루션을 제공합니다. 회사의 2022 회계연도 연결 매출은 약 674.2억 달러였습니다. XNUMX억엔. 자세한 내용은 다음을 방문하세요. https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

연락처 :
미나타니 유우키(Hitachi High-Tech Corporation) 사업 기획부, 측정 시스템 부문, 나노 기술 솔루션 사업 그룹
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

• SEO 기반 콘텐츠 및 PR 배포. 오늘 증폭하십시오.
• PlatoData.Network 수직 생성 Ai. 자신에게 권한을 부여하십시오. 여기에서 액세스하십시오.
• PlatoAiStream. 웹3 인텔리전스. 지식 증폭. 여기에서 액세스하십시오.
• 플라톤ESG. 탄소, 클린테크, 에너지, 환경, 태양광, 폐기물 관리. 여기에서 액세스하십시오.
• PlatoHealth. 생명 공학 및 임상 시험 인텔리전스. 여기에서 액세스하십시오.
• 출처: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/