도쿄, 17년 2021월 100일 – (JCN Newswire) – Hitachi High-Tech Corporation은 AFM100 및 AFMXNUMX Plus 시스템의 출시를 발표했습니다. 이는 Hitachi의 소형 및 다용도 원자력 현미경(AFM)의 보급형 및 중급 모델입니다. 이 도구는 처리량이 많은 R&D 또는 품질 관리 응용 프로그램에 사용하기 쉽고 뛰어난 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다.
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| AFM100 플러스 |
AFM은 일반적으로 반경이 몇 나노미터(1나노미터 = 1/1,000,000밀리미터)인 날카로운 팁을 사용하여 샘플의 표면을 스캔하는 주사 프로브 현미경(SPM) 유형입니다. AFM은 표면 형태의 고해상도 시각화와 나노 스케일에서 다양한 기타 물리적 특성의 동시 매핑을 모두 제공할 수 있습니다. 따라서 원자현미경은 배터리 소재, 반도체, 고분자, 생물체 등의 검사 등 광범위한 산업분야의 품질관리는 물론 과학적인 연구개발에 집약적으로 활용되고 있습니다.
기존의 AFM 작동은 시간이 많이 걸리고 까다로울 수 있습니다. 워크플로에는 핀셋을 사용하여 수동으로 대상 위치에 작은 캔틸레버(약 1mm 너비)를 로드하고, 팁과 샘플 사이의 올바른 상호 작용력을 결정하고, 스캔 속도를 조정하는 것과 같은 몇 가지 필수 단계가 포함됩니다. 앞뒤로 시행착오를 포함합니다. 그 결과, 도구 설정 시작부터 데이터 수집 종료까지 전체 처리량이 상대적으로 낮았습니다. 또한 적절한 유형의 캔틸레버를 선택하고 일련의 이미징 매개변수를 최적화하는 것은 작업자의 경험과 기술 수준에 크게 의존하기 때문에 획득한 AFM 데이터의 품질과 신뢰성은 사람마다 크게 다를 수 있습니다.
Hitachi High-Tech가 개발한 AFM100 및 AFM100 Plus는 이러한 문제를 해결하고 산업, 과학 및 연구 개발 분야에서 AFM 기술의 확장을 높이는 것을 목표로 합니다. AFM100 및 AFM100 Plus 모두 사용이 매우 간편하고 작업자 간 일관성을 보장합니다. 특히 AFM100 Plus는 그래핀, 탄소나노섬유 등 나노소재의 고해상도 이미징, 3mm 이상의 넓은 영역에 대한 0.1차원 형상 관찰, 거칠기 분석, 물성 평가 등 다양한 응용 분야에 활용될 수 있다.
이러한 제품의 주요 이점은 다음과 같습니다.
1. 향상된 사용성, 안정성 및 총 처리량
캔틸레버의 로딩/언로딩을 훨씬 쉽게 하기 위해 새로 개발된 미리 장착된 캔틸레버(1)를 채택하여 사용성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 또한 이러한 기기에는 자동으로 측정 매개변수를 최적화하고 팁과 샘플 사이의 상호 작용력을 제어하며 스캔 속도를 조정하여 인적 오류를 줄이는 자동 조종 기능이 있습니다. 따라서 안정적이고 일관된 데이터 수집을 쉽게 실현할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 한 번의 클릭으로 전체 측정 프로세스 전반에 걸쳐 자동화된 데이터 수집 및 저장을 가능하게 하는 레시피로 다점 측정을 지원하므로 총 처리량이 크게 증가할 수 있습니다.
2. Hitachi High-Tech의 SEM과의 상관관계 강화
옵션인 AFM 마킹 기능은 Hitachi High-Tech가 독자적으로 개발한 S?Mic 솔루션을 사용합니다. S?Mic(주사형 원자 및 전자 현미경)은 AFM과 주사형 전자 현미경(SEM) 간의 호환성을 향상시키는 상관 이미징 기술입니다. 특히 AFM과 SEM을 모두 사용하여 동일한 위치에서 샘플을 검사할 수 있으므로 플랫폼 간 다각적인 분석 접근 방식을 통해 샘플의 기계적, 전기적 및 구성적 특성에 대한 포괄적인 특성화를 달성할 수 있습니다.
3. 확장성과 내구성
시스템은 새로운 제어 소프트웨어의 평생 무료 다운로드와 오작동의 근본 원인을 자동으로 진단할 수 있는 자체 점검 기능을 표준으로 제공하여 사용자의 긴 서비스 수명에 기여합니다. 이를 통해 사용자는 장비를 최신 상태로 유지하고 최고 수준의 성능을 발휘할 수 있습니다.
Hitachi High-Tech는 이러한 원자현미경 제품과 같은 혁신적인 솔루션을 개발하고 고객과 함께 사회적, 환경적 가치를 창출하고 첨단 제조에 기여하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
(1) 미리 장착된 캔틸레버: 이 방법은 레버 장착을 위해 미리 설치된 캔틸레버가 있는 카세트 칩을 사용합니다.
