Specjalistyczne podsystemy pozycjonowania stanowią podstawowe elementy składowe rozwiązań do pomiaru i kontroli powierzchni 3D dla przemysłu półprzewodników
Spółki siostrzane Wcześniejszy naukowy i Queensgate oferują zróżnicowane portfolio technologii wspomagających, które stanowią podstawę wymagań dotyczących szybkiego i precyzyjnego pozycjonowania systemów metrologii optycznej 3D stosowanych w produkcji półprzewodników oraz stosowanych badaniach i rozwoju. Świat Fizyki rozmawiał z menedżerem produktu Queensgate, Craigiem Goodmanem, o pojawiających się technologiach i możliwościach komercyjnych w łańcuchu dostaw półprzewodników.
Dlaczego bezkontaktowa metrologia powierzchni ma kluczowe znaczenie w produkcji półprzewodników?
W miarę jak przemysł półprzewodników przechodzi z płytek o średnicy 8 cali na 12 cali (300 mm) i mniejszych elementów na tych płytkach (do 5 nm lub mniej więcej), kontrola optyczna tych elementów w nanoskali – niezawodna, powtarzalna, charakteryzująca się dużą szybkością i dużą precyzją – staje się coraz bardziej coraz ważniejsze. Mówiąc prościej, metrologia optyczna 3D jest koniecznością, ponieważ wymagane są zautomatyzowane systemy kontroli powierzchni zdolne do oceny setek tysięcy urządzeń mikroelektronicznych na pojedynczej płytce o średnicy 300 mm. Tutaj właśnie sprawdzają się nasze etapy pozycjonowania: prawdziwy „idealny punkt” dla produkowanych przez nas piezoelektrycznych podsystemów nanopozycjonowania i czujników pojemnościowych.
Jak wygląda Twoja baza adresowalnych klientów w branży półprzewodników?
W Prior Scientific i Queensgate koncentrujemy się na producentach OEM oprzyrządowania, którzy zintegrują naszą gamę technologii wspomagających z następną generacją bezkontaktowych systemów metrologii optycznej do profilowania i kontroli powierzchni 3D. Na wyższym szczeblu łańcucha innowacji sprzedajemy również szeroką gamę systemów pozycjonowania naukowcom i inżynierom zajmującym się półprzewodnikami pracującymi w stosowanych obszarach badań i rozwoju.
W jaki sposób Twoje produkty do pozycjonowania przynoszą korzyści producentom półprzewodników?
Po włączeniu do systemów kontroli optycznej OEM nasze produkty służą do wspierania opracowywania prototypów materiałów i urządzeń na poziomie laboratoriów badawczo-rozwojowych zajmujących się półprzewodnikami. W środowisku produkcji masowej te same systemy metrologii powierzchni mają kluczowe znaczenie dla zapewnienia i kontroli jakości, eliminując defekty i awarie urządzeń na poziomie płytek, tj. zanim urządzenia zostaną włączone do zapakowanych komponentów elektronicznych. Korzyści są oczywiste: identyfikując defekty na wczesnym etapie cyklu testowania, producenci półprzewodników unikają wbudowania wadliwych urządzeń w kompletny pakiet i wykrycia ich w dalszej części linii produkcyjnej podczas testów elektrycznych.
Ze strategicznego punktu widzenia, dlaczego Prior Scientific i Queensgate kładą obecnie tak duży nacisk na rynek półprzewodników?
Przed dostawcami technologii dla przemysłu półprzewodników otwierają się różnorodne możliwości wzrostu. Najważniejszym tematem jest kwestia bezpieczeństwa półprzewodników powiązana z regionalnymi niedoborami chipów podczas pandemii Covid-300. W odpowiedzi decydenci w USA, Europie i Wielkiej Brytanii aktywnie działają na rzecz zwiększenia krajowego potencjału produkcji półprzewodników. Istnieje równoległy czynnik technologiczny, ponieważ produkcja masowa przechodzi na płytki półprzewodnikowe o średnicy XNUMX mm, a producenci OEM oprzyrządowania muszą odpowiednio przeprojektować swoje systemy metrologii optycznej. Przemysł półprzewodników oczekuje w standardzie wysokoprzepustowych, skalowalnych i zautomatyzowanych systemów kontroli optycznej, które poprawią efektywność przepływu pracy i jakość produktu.
Prawdopodobnie branża technologii kwantowej jest również motorem wzrostu firm produkujących półprzewodniki?
Prawidłowy. Postępy w wykrywaniu kwantowym, sieciach kwantowych i obliczeniach kwantowych obiecują dostarczyć rewolucyjne technologie i zastosowania, przy czym znaczne obszary badań i rozwoju materiałów oraz rozwój urządzeń opierają się na tradycyjnych procesach wytwarzania półprzewodników. Sprawy toczą się szybko, a firmy w powstającym kwantowym łańcuchu dostaw mają nadzieję raczej wcześniej niż później przejść od laboratorium badawczo-rozwojowego do zrównoważonych zastosowań komercyjnych.
W jaki sposób Prior Scientific i Queensgate wyprzedzają konkurencję, jeśli chodzi o innowacje produktowe?
Ściśle współpracujemy ze społecznością naukową, aby przyspieszyć wdrażanie naszych wewnętrznych innowacji technologicznych. Godnym uwagi studium przypadku w tym zakresie jest nasze bieżąca współpraca badawczo-rozwojowa z Narodowe Laboratorium Fizyczne (NPL), brytyjski Narodowy Instytut Pomiarów. Z dofinansowaniem od Analiza dla innowatorów (A4I) – program prowadzony przez Innowacje w Wielkiej Brytanii, brytyjska agencja innowacji – niedawno „dogłębnie” zbadaliśmy naturę i zakres pasożytniczych błędów ruchu (poza osią) w wieloosiowych etapach nanopozycjonowania w Queensgate. We współpracy z naukowcami z NPL to szczegółowe badanie zaowocowało praktyczną metodologią korekcji i kalibracji, aby wzmocnić kompleksowe zapewnienie jakości w całym portfolio piezoelektrycznych stopni nanopozycjonowania napędzanych przez Queensgate (a także technologii wspomagających, takich jak siłowniki piezoelektryczne, czujniki pojemnościowe, elektronika sterująca i oprogramowanie).
Jak wygląda plan rozwoju Państwa portfolio produktów pozycjonujących w roku 2024?
W najbliższej przyszłości wprowadzimy na rynek nasze nowe pozycjonery o dużym obciążeniu – do manewrowania całą głowicą optyczną w bezkontaktowym systemie metrologii powierzchni – a także dodamy możliwość obsługi wielu osi do naszej gamy stopni pozycjonowania próbek dla płytek o średnicy 300 mm (z nośność pozwalająca na obsługę ciężkich uchwytów do płytek). W fazie opracowywania prototypu, a jego pełna wersja komercyjna ma zostać udostępniona jeszcze w tym roku, znajduje się próbny stolik przechylający w osi Z do zaawansowanego przetwarzania płytek krzemowych. Kluczowy wniosek: współpracując, Prior Scientific i Queensgate mogą spełnić wszystkie Twoje wymagania dotyczące pozycjonowania w zakresie pomiarów i kontroli powierzchni 3D.
Wdrożenie technologii i podsystemów do pomiarów powierzchni 3D
Od mikroskopów badawczych po zautomatyzowane systemy obrazowania powierzchni, Prior Scientific zapewnia zmotoryzowane etapy pozycjonowania, zrobotyzowane ładowarki, rozwiązania oświetleniowe i inne podstawowe podsystemy, aby sprostać wymaganiom metrologicznym zaawansowanych badań i rozwoju półprzewodników oraz produkcji.
Na przykład Prior H105F to: zmotoryzowany stopień silnika krokowego XY (skok 154 x 154 mm), który może pomieścić duże próbki, w tym płytki półprzewodnikowe, fotomaski i płytki drukowane. Należący do tej samej rodziny produktów model H112 zapewnia maksymalny zakres przesuwu wynoszący 302 x 302 mm, co pozwala na umieszczenie płytek o średnicy 300 mm (przy jednoczesnym zapewnieniu kompatybilności z wieloma ładowarkami płytek wyposażonymi w ramię robota).
Równolegle Prior produkuje szeroką gamę zmotoryzowane i ręczne zespoły obiektywów do integracji z nowymi lub istniejącymi niestandardowymi systemami optycznymi. Oferta końcówek obejmuje noski o stałym powiększeniu z jednym obiektywem do zastosowań OEM, a także noski z sześcioma pozycjami z napędem silnikowym do zastosowań zautomatyzowanego skanowania wymagających wielu obiektywów.
Dostosowując się do oferty produktów Prior Scientific, siostrzana firma Queensgate produkuje szybkie, precyzyjne stopnie piezoelektryczne i czujniki pojemnościowe o niskiej rozdzielczości pikometrów do systemów nanopozycjonowania stosowanych w kontroli płytek półprzewodnikowych i masek.
WP-Z-120A system pozycjonowania płytek jest tego przykładem. Zaprojektowany do zastosowań o dużej przepustowości, stolik łączy w sobie czas reakcji wynoszący milisekundy z ruchem pozbawionym tarcia w zakresie pętli zamkniętej 120 µm. Produkt może obsługiwać wafle o średnicy 300 mm i uchwyty do wafli o masie do 8 kg.
Inne podstawowe podsystemy w ofercie Queensgate obejmują OP400 i OP800 skanery obiektywów piezoelektrycznych – oferujące odpowiednio do 400 i 800 µm skoku, z czujnikami pojemnościowymi zapewniającymi rozdzielczość pozycjonowania i powtarzalność poniżej nm. Tymczasem opcje OEM są teraz dostępne dla rodziny Pozycjonery Z „wysokiego obciążenia”. do pozycjonowania całego układu optycznego w konfiguracji metrologii powierzchni 3D (i kompatybilny z obciążeniami do 15 kg i zakresami przesuwu do 300 µm).
- Dystrybucja treści i PR oparta na SEO. Uzyskaj wzmocnienie już dziś.
- PlatoData.Network Pionowe generatywne AI. Wzmocnij się. Dostęp tutaj.
- PlatoAiStream. Inteligencja Web3. Wiedza wzmocniona. Dostęp tutaj.
- PlatonESG. Węgiel Czysta technologia, Energia, Środowisko, Słoneczny, Gospodarowanie odpadami. Dostęp tutaj.
- Platon Zdrowie. Inteligencja w zakresie biotechnologii i badań klinicznych. Dostęp tutaj.
- Źródło: https://physicsworld.com/a/semiconductor-metrology-positioning-is-key/
- :Jest
- :Gdzie
- $W GÓRĘ
- 12
- 120
- 15%
- 154
- 2024
- 300
- 3d
- 400
- 8
- a
- O nas
- pomieścić
- odpowiednio
- w poprzek
- dodanie
- adresowalny
- zaawansowany
- zaliczki
- agencja
- przed
- Wszystkie kategorie
- również
- i
- aplikacje
- stosowany
- SĄ
- obszary
- AS
- zapewnienie
- At
- zautomatyzowane
- dostępny
- uniknąć
- baza
- BE
- staje się
- zanim
- jest
- korzyści
- Bloki
- Budowanie
- wybudowany
- by
- CAN
- zdolność
- zdolny
- Pojemność
- walizka
- studium przypadku
- łańcuch
- żeton
- jasny
- kliknij
- dokładnie
- kombajny
- jak
- byliśmy spójni, od początku
- handlowy
- społeczność
- Firmy
- sukcesy firma
- zgodność
- zgodny
- kompletny
- składniki
- computing
- kontrola
- zbieżny
- rdzeń
- pokrywa
- Covidien
- Craig
- krytyczny
- krzywa
- zwyczaj
- klient
- cykl
- zaprojektowany
- oprogramowania
- urządzenie
- urządzenia
- odkryty
- urozmaicony
- zróżnicowany portfel
- do
- robi
- Krajowy
- na dół
- napęd
- kierowca
- z powodu
- podczas
- e
- Wcześnie
- efektywność
- Elektroniczny
- Elektronika
- wschodzących
- Nowa technologia
- nacisk
- umożliwiając
- koniec końców
- Inżynierowie
- zapewnienie
- Cały
- Środowisko
- Błędy
- europejski
- oceny
- przykład
- Przede wszystkim system został opracowany
- stopień
- Awarie
- członków Twojej rodziny
- FAST
- Korzyści
- ustalony
- W razie zamówieenia projektu
- od
- pełny
- Finansowanie
- dalej
- generacja
- Dający
- Dobry człowiek
- ziarnisty
- Wzrost
- uchwyt
- mający
- głowa
- nagłówek
- ciężki
- Wysoki
- nadzieję
- HTTPS
- Setki
- i
- identyfikacja
- obraz
- Obrazowanie
- ważny
- in
- zawierać
- Włącznie z
- Rejestrowy
- przemysł
- Informacja
- Innowacja
- Instytut
- integrować
- najnowszych
- śledztwo
- problem
- IT
- jpg
- Klawisz
- laboratorium
- Labs
- duży
- później
- wodowanie
- poziom
- lubić
- Linia
- powiązany
- załadować
- masa
- Popatrz
- wygląda jak
- niski
- kierownik
- podręcznik
- Producenci
- produkcja
- wiele
- rynek
- maska
- materiały
- Maksymalna szerokość
- maksymalny
- W międzyczasie
- pomiary
- Metodologia
- Metrologia
- ruch
- przeniesienie
- dużo
- wielokrotność
- Must-have
- narodowy
- Natura
- sieci
- Nowości
- Następny
- dostojnik
- już dziś
- cel
- Cele
- of
- oferta
- oferuje
- on
- koncepcja
- otwarcie
- Szanse
- Opcje
- or
- Inne
- ludzkiej,
- na zewnątrz
- koniec
- własny
- pakiet
- pakowane
- pandemiczny
- Parallel
- część
- PAYBACK
- fizyczny
- Fizyka
- Świat Fizyki
- Platforma
- plato
- Analiza danych Platona
- PlatoDane
- punkt
- teczka
- pozycjonowanie
- Praktyczny
- Detaliczność
- Wcześniejszy
- procesów
- przetwarzanie
- produkuje
- Produkt
- product manager
- Jakość produktu
- Produkcja
- Produkty
- Profilowanie
- program
- Postęp
- obietnica
- prototyp
- zapewniać
- zapewnia
- położyć
- Putting
- jakość
- Kwant
- informatyka kwantowa
- sieci kwantowe
- technologia kwantowa
- R & D
- zasięg
- zakresy
- raczej
- real
- niedawno
- Uważać
- regionalny
- wzmacniać
- zwolnić
- rzetelny
- powtarzalne
- wymaganie
- wymagania
- Badania naukowe
- Rozkład
- odpowiednio
- odpowiedź
- prawo
- mapa drogowa
- run
- taki sam
- próba
- skalowalny
- Skala
- skanowanie
- naukowy
- Naukowcy
- bezpieczeństwo
- sprzedać
- Semiconductor
- czujniki
- w panelu ustawień
- braki
- znaczący
- po prostu
- pojedynczy
- siostra
- mniejszy
- So
- Tworzenie
- Rozwiązania
- prędkość
- Łącza
- STAGE
- etapy
- standard
- pobyt
- Badanie
- taki
- dostawcy
- Dostawa
- łańcuch dostaw
- wsparcie
- Powierzchnia
- zrównoważone
- system
- systemy
- kierowania
- Technologies
- Technologia
- Innowacje technologiczne
- semestr
- Testowanie
- niż
- że
- Połączenia
- ich
- rzeczy
- to
- w tym roku
- tych
- tysiące
- miniatur
- czasy
- do
- razem
- w kierunku
- tradycyjny
- przejścia
- podróżować
- Uk
- podbudować
- podjął się
- us
- używany
- Tom
- chce
- Droga..
- we
- DOBRZE
- Co
- jeśli chodzi o komunikację i motywację
- Podczas
- KIM
- dlaczego
- będzie
- w
- w ciągu
- Praca
- workflow
- pracujący
- świat
- X
- rok
- Wydajność
- wydany
- Twój
- zefirnet