使用支持物联网的智能优化您的薄膜等离子工艺

对基于等离子体的薄膜工艺进行表征和故障排除的传统方法经常缺乏捕捉等离子体系统全部复杂性的能力。 通常，工作依赖于手动方法，使用低分辨率数据，并且不具备高级分析能力，因此难以确定过程不稳定的根本原因。

该网络研讨会描述了新的物联网软件如何扩展数据解析、访问和分析——从而改进流程成功的关键衡量标准，包括稳定性、成本、吞吐量和产量。 高分辨率数据（事件捕获高达 40 MHz）、历史数据记录、基于浏览器的仪表板、定制算法和高级分析支持提供了一个实时了解等离子系统实际状况的窗口。

演讲者将提供演示，讨论兼容平台，并就该物联网软件如何使半导体和工业涂层行业的等离子工艺操作员做出数据驱动的决策、主动解决根本原因并可视化以前未识别的优化机会进行研究。

李静 是 Advanced Energy 的物联网解决方案业务开发经理。 她在采矿、金属、半导体、工业涂料和园艺行业的工程和业务开发方面拥有 12 年的经验。 她拥有南加州大学工商管理硕士学位和北京科技大学冶金工程硕士学位。

安德鲁·默顿 是 PowerInsight by Advanced Energy™ 团队的首席数据科学家。 在这个职位上，他开发算法和指标，从现场数据创建可操作的情报，以指导诊断和估计资产性能。 他拥有科罗拉多州立大学的统计学博士学位和科罗拉多大学博尔德分校的机械工程硕士学位。

克雷格·拉普 2017 年加入 Advanced Energy，担任现场应用工程师。 凭借 30 多年的工业涂料经验，他帮助为各种薄膜应用构建和实施创新的电力输送解决方案。