شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة تطلق نظام قياس الشعاع الإلكتروني عالي الدقة GT2000 لتلبية احتياجات تطوير أجهزة أشباه الموصلات والإنتاج الضخم في جيل الأشعة فوق البنفسجية عالية NA

طوكيو، 12 ديسمبر 2023 – (JCN Newswire) – أعلنت شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة ("هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة") اليوم عن إطلاق نظام قياس شعاع الإلكترون عالي الدقة GT2000. يستخدم GT2000 تقنية Hitachi High-Tech وخبرتها في مجال CD-SEM(1)، حيث تمتلك أعلى حصة في السوق. تم تجهيز GT2000 بأنظمة كشف جديدة لأجهزة أشباه الموصلات ثلاثية الأبعاد المتطورة. كما أنها تستخدم وظائف قياس متعددة النقاط عالية السرعة منخفضة الضرر لتصوير الرقائق المقاومة لـ High-NA EUV(3) لتقليل أضرار المقاومة وتحسين الإنتاجية في الإنتاج الضخم.

سوف تتيح تقنية Hitachi High-Tech GT2000 CD-SEM إجراء قياسات وفحص عالي السرعة وعالي الدقة في عملية تصنيع أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة، والتي أصبحت مصغرة ومعقدة بشكل متزايد، وتساهم في تحسين عائدات العملاء في مجال البحث والتصنيع. -التنمية والإنتاج الضخم.

خلفية التنمية

مع تطور عمليات تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، يجري البحث والتطوير لـ N2 (عقدة توليد 2 نانومتر) وA14 (عقدة توليد 14 أنجستروم). بالإضافة إلى تطبيق الطباعة الحجرية High-NA EUV في الأجهزة الحديثة، من المتوقع أن يزداد تعقيد هياكل الأجهزة، مثل هياكل GAA(3) وCFET(4).

ومن ثم، هناك حاجة إلى الحصول على بيانات عالية السرعة في ظل مجموعة واسعة من ظروف القياس لقياس المواد والهياكل المختلفة، والتشغيل المستقر، ومزيد من تحسينات المطابقة بين الأدوات في مراحل البحث والإنتاج الضخم لعمليات تطوير أجهزة أشباه الموصلات المتطورة. بازدياد.

التقنيات الرئيسية

1. جهد تسارع منخفض للغاية 100 فولت ووظيفة قياس متعددة النقاط فائقة السرعة لعمليات High-NA EUV

في عملية الطباعة الحجرية High-NA EUV، تكون المقاومات المستخدمة أرق، وبالتالي، من أجل قياسها بدقة عالية، يجب أن تتسبب أداة القياس في أقل قدر ممكن من الضرر للمقاومة. يحقق جهاز GT2000 ضررًا منخفضًا وقياسًا عالي الدقة من خلال الجمع بين جهد التسارع المنخفض للغاية الذي يبلغ 100 فولت، مع وظيفة المسح عالية السرعة الخاصة بنا. بالإضافة إلى ذلك، فهو مجهز بوضع قياس متعدد النقاط فائق السرعة لتحديد ظروف عملية التصنيع بسرعة واكتشاف العيوب في مرحلة البحث والتطوير.

2. نظام كشف عالي الحساسية لهياكل الأجهزة ثلاثية الأبعاد

تتطلب الأجهزة ثلاثية الأبعاد ذات الهياكل مثل GAA وCFET والذاكرة ثلاثية الأبعاد قياسات لعمق الأنماط وقيعان الحفرة والخنادق بالإضافة إلى قياس الأقراص المضغوطة التقليدية. تم تجهيز GT3 بنظام اكتشاف جديد حساس للغاية يكتشف بكفاءة الإلكترونات المتناثرة في الخلف، مما يتيح تصويرًا عالي الدقة لهياكل الأجهزة المتزايدة التعقيد وتوسيع إمكانيات تطبيقات القياس الجديدة.

3. منصات جديدة وأنظمة بصرية إلكترونية جديدة لتحسين المطابقة من أداة إلى أداة أحد أهم متطلبات الأداء لـ CD-SEM، المسؤول عن مراقبة العملية، هو أن يكون الاختلاف في قيم القياس بين الأدوات المتعددة صغيرًا. تم إعادة تصميم منصة GT2000 الجديدة والأنظمة البصرية الإلكترونية لإزالة أي عوامل تسبب اختلافات في قيم القياس، وبالتالي تحسين المطابقة بين الأدوات.

من خلال تقديم GT2000، بالإضافة إلى أنظمة القياس لدينا التي تستخدم تقنية شعاع الإلكترون وأنظمة فحص الرقاقات الضوئية الخاصة بنا، تعمل شركة Hitachi High-Tech على تلبية احتياجات العملاء المتنوعة في المعالجة والقياس والفحص طوال عملية تصنيع أشباه الموصلات. سنستمر في تقديم حلول مبتكرة ومعززة رقميًا لمنتجاتنا لمواجهة تحديات التكنولوجيا القادمة، وخلق قيمة جديدة مع عملائنا، بالإضافة إلى المساهمة في التصنيع المتطور.

موقع ل GT2000
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/products/semiconductor-manufacturing/cd- sem/metrology-solution/semi-gt2000.html

فيديو تعريفي عن GT2000
https://bcove.video/3TltYkl

(1) CD-SEM (المجهر الإلكتروني لمسح الأبعاد الحرجة): جهاز مصمم لإجراء قياسات عالية الدقة لأبعاد أنماط دوائر أشباه الموصلات الدقيقة المتكونة على الرقائق.
(2) High-NA (الفتحة العددية) EUV (الأشعة فوق البنفسجية القصوى): معدات الطباعة الحجرية للأشعة فوق البنفسجية القصوى (الطول الموجي 13.5 نانومتر) مع فتحة رقمية محسنة مقارنة بالمعدات التقليدية.
(3) GAA (البوابة الشاملة): هيكل ترانزستور تغطي فيه البوابة القناة بالكامل
(4) CFET (ترانزستور تأثير المجال التكميلي): ترانزستور تأثير المجال التكميلي الذي يتم فيه تكديس الأجهزة من النوع n والنوع p

نبذة عن شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة

تعمل شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة، التي يقع مقرها الرئيسي في طوكيو، اليابان، في أنشطة في مجموعة واسعة من المجالات، بما في ذلك تصنيع وبيع أجهزة التحليل السريرية، ومنتجات التكنولوجيا الحيوية، والأدوات التحليلية، ومعدات تصنيع أشباه الموصلات ومعدات التحليل. وتوفير حلول ذات قيمة مضافة عالية في مجالات البنى التحتية الاجتماعية والصناعية والتنقل، وما إلى ذلك.

بلغت الإيرادات المجمعة للشركة للسنة المالية 2022 تقريبًا. 674.2 مليار ين ياباني. لمزيد من المعلومات، قم بزيارةhttps://www.hitachi-hightech.com/global/en/

اتصال:
تاكوميتشي سوتاني
قسم تخطيط الأعمال ، قسم نظم المقاييس ،
مجموعة أعمال حلول تكنولوجيا النانو ، شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة اتصل بنا: شركة هيتاشي للتكنولوجيا الفائقة (hitachi-hightech.com)

• محتوى مدعوم من تحسين محركات البحث وتوزيع العلاقات العامة. تضخيم اليوم.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. تمكين نفسك. الوصول هنا.
• أفلاطونايستريم. ذكاء Web3. تضخيم المعرفة. الوصول هنا.
• أفلاطون كربون، كلينتك ، الطاقة، بيئة، شمسي، إدارة المخلفات. الوصول هنا.
• أفلاطون هيلث. التكنولوجيا الحيوية وذكاء التجارب السريرية. الوصول هنا.
• المصدر https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/88032/3/