Hitachi হাই-টেক GT2000 চালু করেছে, উচ্চ-নির্ভুল ইলেকট্রন বিম মেট্রোলজি সিস্টেম উচ্চ-এনএ ইইউভি জেনারেশনে সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের উন্নয়ন এবং ব্যাপক উৎপাদনের প্রয়োজন মেটাতে।

টোকিও, ডিসেম্বর 12, 2023 - (JCN নিউজওয়্যার) - হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন ("হিটাচি হাই-টেক") আজ তার GT2000 উচ্চ-নির্ভুলতা ইলেক্ট্রন বিম মেট্রোলজি সিস্টেম চালু করার ঘোষণা দিয়েছে। GT2000 Hitachi হাই-টেকের প্রযুক্তি এবং CD-SEM(1) তে দক্ষতা ব্যবহার করে, যেখানে শীর্ষ বাজারের অংশীদারিত্ব রয়েছে। GT2000 কাটিং-এজ 3D সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসে নতুন সনাক্তকরণ সিস্টেমের সাথে সজ্জিত। এটি উচ্চ-এনএ ইইউভি(2) রেজিস্ট ওয়েফার ইমেজিংয়ের জন্য কম-ক্ষতি উচ্চ-গতির মাল্টি-পয়েন্ট পরিমাপ ফাংশনগুলিকেও ব্যবহার করে যাতে ক্ষতি কমানো যায় এবং ব্যাপক উৎপাদনে ফলন উন্নত হয়।

Hitachi হাই-টেক GT2000 CD-SEM উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির উত্পাদন প্রক্রিয়াতে উচ্চ-নির্ভুলতা, উচ্চ-গতির পরিমাপ এবং পরিদর্শন সক্ষম করবে, যা ক্রমবর্ধমান ক্ষুদ্র ও জটিল হয়ে উঠছে এবং গবেষণায় গ্রাহকের উৎপাদনের উন্নতিতে অবদান রাখবে-এবং -উন্নয়ন এবং ব্যাপক উৎপাদন।

উন্নয়ন পটভূমি

সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলি বিকশিত হওয়ার সাথে সাথে, N2 (2-ন্যানোমিটার জেনারেশন নোড) এবং A14 (14-অ্যাংস্ট্রম জেনারেশন নোড) এর গবেষণা-ও-উন্নয়ন চলছে। অত্যাধুনিক ডিভাইসগুলিতে উচ্চ-এনএ ইইউভি লিথোগ্রাফির প্রয়োগের পাশাপাশি, ডিভাইস কাঠামোর জটিলতা বাড়বে বলে আশা করা হচ্ছে, যেমন GAA(3) এবং CFET(4) কাঠামো৷

তাই, বিভিন্ন উপকরণ এবং কাঠামো পরিমাপ করার জন্য বিস্তৃত পরিমাপের অবস্থার অধীনে উচ্চ-গতির ডেটা অধিগ্রহণের প্রয়োজন, স্থিতিশীল অপারেশন এবং গবেষণা পর্যায়ে আরও টুল-টু-টুল ম্যাচিং উন্নতি এবং অত্যাধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস প্রক্রিয়া বিকাশের জন্য ব্যাপক উত্পাদন। বাড়ছে.

মূল প্রযুক্তি

1. 100V অতি-নিম্ন ত্বরণ ভোল্টেজ এবং উচ্চ-এনএ ইইউভি প্রক্রিয়াগুলির জন্য অতি-উচ্চ গতির মাল্টি-পয়েন্ট পরিমাপ কার্যকারিতা

হাই-এনএ ইইউভি লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ব্যবহৃত প্রতিরোধগুলি পাতলা এবং তাই, উচ্চ নির্ভুলতার সাথে পরিমাপ করার জন্য, মেট্রোলজি টুলটি প্রতিরোধের যতটা সম্ভব কম ক্ষতি করতে হবে। GT2000 আমাদের মালিকানাধীন উচ্চ-গতি স্ক্যানিং কার্যকারিতার সাথে 100V-এর অগ্রগামী অতি-নিম্ন ত্বরণ ভোল্টেজকে একত্রিত করে কম ক্ষতি এবং উচ্চ-নির্ভুলতা পরিমাপ অর্জন করে। উপরন্তু, এটি একটি অতি-হাই-স্পিড মাল্টি-পয়েন্ট মেজারমেন্ট মোড দিয়ে সজ্জিত করা হয়েছে যাতে দ্রুত উৎপাদন প্রক্রিয়ার অবস্থা নির্ধারণ করা যায় এবং গবেষণা ও উন্নয়ন পর্যায়ে অস্বাভাবিকতা সনাক্ত করা যায়।

2. 3D ডিভাইস কাঠামোর জন্য উচ্চ-সংবেদনশীলতা সনাক্তকরণ সিস্টেম

GAA, CFET, এবং 3D মেমরির মতো স্ট্রাকচার সহ 3D ডিভাইসগুলির জন্য প্রচলিত CD পরিমাপের পাশাপাশি প্যাটার্নের গভীরতা, গর্ত এবং ট্রেঞ্চের বটমগুলির পরিমাপ প্রয়োজন। GT2000 একটি নতুন অত্যন্ত সংবেদনশীল শনাক্তকরণ সিস্টেমের সাথে সজ্জিত যা দক্ষতার সাথে পিছনে বিক্ষিপ্ত ইলেকট্রন সনাক্ত করে, ক্রমবর্ধমান জটিল ডিভাইস কাঠামোর উচ্চ-নির্ভুলতা ইমেজিং সক্ষম করে এবং নতুন পরিমাপ অ্যাপ্লিকেশনগুলির সম্ভাবনাকে প্রসারিত করে।

3. নতুন প্ল্যাটফর্ম এবং নতুন ইলেকট্রনিক অপটিক্যাল সিস্টেম টুল-টু-টুল ম্যাচিং উন্নত করার জন্য সিডি-এসইএম-এর জন্য সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তাগুলির মধ্যে একটি, যা প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণের জন্য দায়ী, তা হল একাধিক সরঞ্জামের মধ্যে পরিমাপের মানগুলির পার্থক্য ছোট। GT2000 নতুন প্ল্যাটফর্ম এবং ইলেকট্রনিক অপটিক্যাল সিস্টেমগুলি পরিমাপের মানগুলির মধ্যে পার্থক্য সৃষ্টিকারী যেকোন কারণগুলিকে দূর করার জন্য পুনরায় ডিজাইন করা হয়েছে, এইভাবে, টুল-টু-টুল ম্যাচিং উন্নত করা হয়েছে।

GT2000, সেইসাথে ইলেক্ট্রন বিম প্রযুক্তি এবং আমাদের অপটিক্যাল ওয়েফারইনসপেকশন সিস্টেম ব্যবহার করে আমাদের মেট্রোলজি সিস্টেমগুলি অফার করে, Hitachi High-Tech সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া জুড়ে গ্রাহকদের প্রক্রিয়াকরণ, পরিমাপ এবং পরিদর্শনের বিভিন্ন চাহিদা মেটাতে কাজ করছে। আমরা আসন্ন প্রযুক্তির চ্যালেঞ্জগুলির জন্য আমাদের পণ্যগুলিতে উদ্ভাবনী এবং ডিজিটালভাবে উন্নত সমাধান প্রদান করতে থাকব এবং আমাদের গ্রাহকদের সাথে একত্রে নতুন মান তৈরি করব, সেইসাথে অত্যাধুনিক উত্পাদনে অবদান রাখব।

GT2000 এর জন্য ওয়েবসাইট
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/products/semiconductor-manufacturing/cd- sem/metrology-solution/semi-gt2000.html

GT2000 এর জন্য ভূমিকা ভিডিও
https://bcove.video/3TltYkl

(1) CD-SEM (ক্রিটিকাল ডাইমেনশন-স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ): ওয়েফারগুলিতে গঠিত সূক্ষ্ম সেমিকন্ডাক্টর সার্কিট প্যাটার্নগুলির মাত্রাগুলির উচ্চ-নির্ভুলতা পরিমাপ করার জন্য ডিজাইন করা একটি সরঞ্জাম।
(2) উচ্চ-এনএ (সংখ্যাসূচক অ্যাপারচার) EUV (এক্সট্রিম আল্ট্রাভায়োলেট): প্রচলিত সরঞ্জামের তুলনায় একটি উন্নত সংখ্যাসূচক অ্যাপারচার সহ চরম অতিবেগুনী (13.5 এনএম তরঙ্গদৈর্ঘ্য) লিথোগ্রাফি সরঞ্জাম।
(3) GAA (গেট অল অ্যারাউন্ড): একটি ট্রানজিস্টর কাঠামো যাতে গেটটি চ্যানেলটিকে সম্পূর্ণরূপে কভার করে
(4) CFET (পরিপূরক ফিল্ড ইফেক্ট ট্রানজিস্টর): একটি পরিপূরক ফিল্ড ইফেক্ট ট্রানজিস্টর যাতে এন-টাইপ এবং পি-টাইপ ডিভাইসগুলি স্ট্যাক করা হয়

হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন সম্পর্কে

হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন, জাপানের টোকিওতে সদর দফতর, ক্লিনিকাল বিশ্লেষক, জৈবপ্রযুক্তি পণ্য এবং বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্র, অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সরঞ্জাম এবং বিশ্লেষণ সরঞ্জাম উত্পাদন এবং বিক্রয় সহ বিস্তৃত ক্ষেত্রের কার্যক্রমে নিযুক্ত রয়েছে। এবং সামাজিক ও শিল্প অবকাঠামো এবং গতিশীলতার ক্ষেত্রে উচ্চ মূল্য সংযোজন সমাধান প্রদান করে।

FY 2022 এর জন্য কোম্পানির একত্রিত রাজস্ব ছিল প্রায়। JPY 674.2 বিলিয়ন। আরও তথ্যের জন্য, দেখুনhttps://www.hitachi-hightech.com/global/en/

যোগাযোগ:
তাকুমিচি সুতানি
ব্যবসায়িক পরিকল্পনা বিভাগ, মেট্রোলজি সিস্টেম বিভাগ,
ন্যানো-টেকনোলজি সলিউশন বিজনেস গ্রুপ, হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন: হিটাচি হাই-টেক কর্পোরেশন (hitachi-hightech.com)

• এসইও চালিত বিষয়বস্তু এবং পিআর বিতরণ। আজই পরিবর্ধিত পান।
• PlatoData.Network উল্লম্ব জেনারেটিভ Ai. নিজেকে ক্ষমতায়িত করুন। এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটোএআইস্ট্রিম। Web3 ইন্টেলিজেন্স। জ্ঞান প্রসারিত. এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটোইএসজি। কার্বন, ক্লিনটেক, শক্তি, পরিবেশ সৌর, বর্জ্য ব্যবস্থাপনা. এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটো হেলথ। বায়োটেক এবং ক্লিনিক্যাল ট্রায়াল ইন্টেলিজেন্স। এখানে প্রবেশ করুন.
• উত্স: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/88032/3/