היטאצ'י הייטק משיקה מערכת DI2800 לבדיקת פגמים בשדה כהה, משיגה רגישות גבוהה של 100% בדיקה עבור התקני מוליכים למחצה בתחומי ה-IoT והרכב

טוקיו, 3 ביוני 2022 – (JCN Newswire) – תאגיד ההייטק היטאצ'י הודיע ​​על השקת מערכת בדיקת פגמי ה-Hitachi Dark Field Wafer DI2800, רכיב קריטי ביכולות המטרולוגיה של כל יצרן מוליכים למחצה. ה-DI2800 היא מערכת מטרולוגיה מהירה המיועדת לזהות פגמים וחלקיקים על פרוסות מעוצבות בקוטר של עד 8 אינץ' (200 מ"מ). עם התפוקה והביצועים הגבוהים שלו, ה-DI2800 יכול לעזור להבטיח אמינות ובטיחות המכשיר, במיוחד עבור יישומים רגישים במיוחד כמו האינטרנט של הדברים (IoT) ותחומי רכב שבהם נדרשת בדיקה של 100%.

רקע פיתוח

עם עליית רשתות התקשורת של הדור הבא (5G) והאימוץ המואץ של כלי רכב חשמליים בשנים האחרונות, חלה עלייה בביקוש למכשירי מוליכים למחצה בתחומי ה-IoT והרכב שבהם האמינות והבטיחות הם מעל לכל. בייצור מכשירי מוליכים למחצה קונבנציונליים, מבוצעות בדיקות נקודתיות למטרות ניהול תהליכים ושיפור התפוקה. עם זאת, עבור התקני מוליכים למחצה המשמשים בתחומי ה-IoT והרכב, יש לבצע בדיקה של 100% כדי לסייע בזיהוי מוצרים פגומים במהלך הייצור כדי להבטיח אמינות ובטיחות גבוהות. כדי לשרת את השדות הללו מערכת בדיקת פגמים של פרוס חייבת להיות בעלת יכולת לבצע 100% בדיקה עם רגישות גבוהה במהירות גבוהה.

תכונות עיקריות

Hitachi High-Tech פיתחה את מערכת בדיקת פגמי ה-Dark Field DI2800 כדי לתת מענה לצורכי השוק הללו. מוצר זה משתמש בטכנולוגיית סימולציה של עוצמת פיזור כדי לייעל את אופטיקה של תאורה וזיהוי, המאפשרת בדיקה רגישה ביותר של פגמים בתבנית פרוסות שפותחו במהלך תהליך הייצור. יש לו רגישות זיהוי של גודל חלקיקים סטנדרטי של 0.1 מיקרון על פרוסות מראות. ביצועים אלה אפשריים אפילו במכשירים קטנים כמו 0.3 מ"מ בריבוע, מה שהוכח בעבר כמאתגר בשל מגבלות רגישות ועיבוד נתונים. עם רצף בדיקה אופטימלי במיוחד, ה-DI2800 מסוגל להפיק תפוקות של למעלה מ-40 פרוסות 200 מ"מ לשעה.

יוזמות עתידיות

Hitachi High-Tech תספק את המוצר הזה ללקוחות בשילוב עם מדידת CD Advanced SEM CS4800 ו-3D SEM CT1000, שכבר נמצאים בשוק, ועונה על צורכי המטרולוגיה המגוונים בייצור המוני של התקני מוליכים למחצה לתחומי ה-IoT והרכב. בהמשך, Hitachi מחויבת לשיפור המוצר על ידי מינוף נתונים שנאספו מכל שלושת קווי המוצרים כדי להציע פתרונות מבוססי נתונים חדשים, בעלי ערך מוסף, התורמים לשיפור המהימנות והבטיחות של התקני מוליכים למחצה בתחומים אלה.

Hitachi High-Tech פועלת כדי לענות על צורכי הלקוחות במטרולוגיה ופיקוח עבור מו"פ וייצור המוני של התקני מוליכים למחצה על ידי אספקת מוצרים מבוססי אלומת אלקטרונים כגון CD-SEM מסורתיות ומערכות פיקוח פרוסות המבוססות על טכנולוגיות אופטיות. היטאצ'י הייטק תמשיך לספק פתרונות חדשניים לאתגרים הטכנולוגיים הקרובים. היטאצ'י הייטק תתרום לפיתוח טכנולוגיות מתקדמות על ידי יצירת ערך חברתי וסביבתי חדש בשיתוף עם לקוחותיה.

על היטאצ'י הייטק

Hitachi High-Tech, שבסיסה בטוקיו, יפן, עוסקת בפעילויות במגוון רחב של תחומים, לרבות ייצור ומכירה של מנתחים קליניים, מוצרי ביוטכנולוגיה ומכשור אנליטי, ציוד לייצור מוליכים למחצה וציוד ניתוח. ומתן פתרונות ערך מוסף גבוה בתחומי תשתיות חברתיות ותעשייתיות וניידות וכו'. ההכנסות המאוחדות של החברה לשנת 2021 היו כ. 576.8 מיליארד JPY [5.1 מיליארד דולר]. למידע נוסף, בקר http://www.hitachi-hightech.com/global/


זכויות יוצרים 2022 JCN Newswire. כל הזכויות שמורות. www.jcnnewswire.com Hitachi High-Tech Corporation הודיעה על השקת מערכת הפיקוח על פגמי ה-Hitachi Dark Field Wafer DI2800, רכיב קריטי ביכולות המטרולוגיה של כל יצרן מוליכים למחצה.

• Coinsmart. בורסת הביטקוין והקריפטו הטובה באירופה.
• Platoblockchain. Web3 Metaverse Intelligence. ידע מוגבר. גישה חופשית.
• CryptoHawk. רדאר אלטקוין. ניסיון חינם.
• מקור: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/75606/3/