ドライスクロールポンプ: 性能ギャップを埋める – Physics World

小さく考えて、大きく勝ちましょう。 この信念は、しばらくの間、真空の専門家にとって信頼できる基準となることが証明されてきました。 エドワーズ 同社は、より広範な製品開発ロードマップの一環として、分析機器 OEM (電子顕微鏡および質量分析システム内に統合される)、高エネルギー物理学研究所 (加速器への展開用) 向けにカスタマイズされた小型真空ポンプのポートフォリオを製造しています。ビームラインと高出力レーザー システム）、および幅広い研究開発および軽工業用途（薄膜コーティング システム、表面科学計測器、漏れ検出など）。

少し拡大してみると、エドワーズの小型ポンプ製品は、これまで EM および RV の油封式ロータリーベーン ポンプ (0.7 ～ 12 m) に及びました。³/h 排気速度); XDD1ダイヤフラムポンプ（1.4m）³/h); およびnXDSiドライスクロールポンプ（6～20m）³/h)。 ここにチャンスがあります。 「私たちはスクロールポンプ製品ファミリーにギャップがあることを認識し、それを背景に、より多くの選択肢、より多くのオプションをお客様に提供する方法を特定しました」と、エドワーズのスクロールポンプおよびロータリーベーンポンプの製品マネージャーであるデイブ・グッドウィンは説明します。 「目的は、nXDSi よりも排気速度が低く、XDD1 よりも性能が向上し、同時に当社の小型油封式ロータリーベーン ポンプのドライ代替品を提供するコンパクトなポンプを開発することでした。」

さらに、Edwards シリーズのドライ スクロール ポンプに最新の製品が追加され、その性能ギャップが埋められました。 mXDS3 および mXDS3s – 3 mの排気速度を実現³/h、到達圧力は 0.1 mbar です。 構成済みの mXDS3s バージョン (8 kg) には、遅延開口部を備えた吸気バルブが工場出荷時に取り付けられています (排気サイレンサーも付属)。一方、mXDS3 (7.8 kg) には、標準ポンプ オプション (吸気バルブが取り付けられていない) が提供されます。 。 前者の場合、入口バルブは、ポンプが停止したとき（または停電により停止したとき）、部分的に圧縮されたガスがポンプ入口を通じて再膨張するのを防ぎ、真空システムを保護します。 「これはユーザーにとってさらなる安心感をもたらすものです」とグッドウィン氏は言います。 「開くのが遅れるということは、電力が復旧してもポンプがフル動作性能に達する前にバルブが開かないことを意味します。」

どちらのバージョンのポンプも同じコンパクトな設置面積 (223x158x231 mm) を持ち、主電源用の IEC コネクタ、簡単に制御できるオン/オフ スイッチ、さらに 3000 rpm (50 Hz) および 3600 rpm (60 Hz) の公称回転速度を備えています。 。 「mXDS3 および mXDS3s は、高いポンピング密度を実現します。これは、中真空および高真空領域で動作するターボ分子ポンプを支援するのに最適です」と Goodwin 氏は述べています。 「これらは、業界のエンドユーザーだけでなく、機器の OEM、学術研究室の小規模真空システムの製造業者にも最適です。」

共同イノベーション

運用上の利点にもかかわらず、製品イノベーションに対するエドワーズのアプローチが、継続的な改善の考え方と同社の多様な顧客ベースとの継続的な対話にしっかりと根ざしていることは明らかです。 「私たちはエンドユーザーからの意見を体系的に取り入れています」とグッドウィン氏は説明します。 「このようにして、私たちは既存の製品を適応させたり、新しい製品を開発したりすることで、彼らの問題を解決するよう努めています。」

その集団的な会話の中心にあるのが、英国バージェスヒルにあるエドワーズのグローバル テクノロジー センター (GTC) です。 エドワーズの国際的な研究開発活動の一環として、GTC は、小型ポンプ ポートフォリオを含む同社のすべての製品ラインにわたるコア技術の開発と検証に専念する科学者とエンジニアのチームを雇用しています。 彼らの目標は、顧客の進化する真空要件に合わせて、適切な製品、機能、機能を適切なタイミングで市場に投入することです。

mXDS3 および mXDS3s を開発する際、Goodwin と、同僚の製品マネージャー、アプリケーション スペシャリスト、ビジネス ライン マネージャーで構成される部門横断的な GTC プロジェクト チームの最初の仕事は、予備的な市場要件仕様と初期段階の技術デモンストレーターを作成することでした。 「その後、学術機関、産業界、OEM など、さまざまな顧客環境にデモンストレーターを配置して、完全な商業発売まで押し進める実行可能な製品コンセプトがあるかどうかを確認しました」と彼は述べています。

お客様からのフィードバックにより、エドワーズ チームが正しい方向に進んでいることが確認され、さらに、製品の機能を微調整するための詳細な技術要件の収集作業が裏付けられました。 「この時点で、GTC からの関連する学習と専門分野の知識はすべて、ポンプの設計を市場に出せる製品に反復して「ロード」するために、チェコ共和国のルティンにある当社の製造ハブに転送されました。」選ばれた顧客を対象にテストを行っています。」

顧客の生活を楽にする

商業的な位置付けでは、ほとんどの場合、コンパクトな設置面積、軽量設計、ポンピング速度が強調されていますが、エドワーズは、mXDS3/mXDS3s プラットフォームのさらなる運用上の利点を強調したいと考えています。 まず、これらはドライ ポンプであるため、ユーザーがオイルを確認、補充、交換する必要はありません (オイル シール式ロータリー ベーン ポンプのように)。 この環境上の利点は、メンテナンスのオーバーヘッドと介入の削減にもつながります。ユーザーは通常、ポンプの固定スクロールと回転スクロールの間のチップシールを XNUMX 年ごとに交換するだけで済みます (ロータリーベーン ポンプの場合、オイル交換は年に XNUMX ～ XNUMX 回です)。 ）。

その他の重要な機能には、ヘリウムのポンピング性能 (空気の場合と同様であり、「メモリー効果」がない) が含まれます。 低騒音レベル – 54.0±2.5 dB (A) で規定 – ポンプが到達真空度で動作しているときに、より質の高い作業環境を確保します。 既存の真空システム内に統合する場合、ポンプを水平 (標準) または垂直 (モーターを上部に搭載) に取り付けることができる柔軟性も備えています。

「mXDS3 と mXDS3 は、Edwards のスクロール ポンプ製品の幅広さと奥深さを強化します」と Goodwin 氏は結論づけています。 「さらに、これらの製品は、小型ポンプのポートフォリオ全体にわたる設計、改善、イノベーションに関して、当社の比類のないアプリケーション知識と技術的専門知識を示しています。」

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• 情報源： https://physicsworld.com/a/dry-scroll-pumps-filling-the-performance-gap/