Yarı iletken metrolojisi: konumlandırma çok önemlidir – Fizik Dünyası

Yarı iletken metrolojisi: konumlandırma çok önemlidir – Fizik Dünyası

Zaman Damgası: 19 Şubat 2024 9:12

Uzman konumlandırma alt sistemleri, yarı iletken endüstrisi için 3 boyutlu yüzey ölçümü ve inceleme çözümlerinde temel yapı taşları sağlar

<a href="https://platoblockchain.com/wp-content/uploads/2024/02/semiconductor-metrology-positioning-is-key-physics-world-2.jpg" data-fancybox data-src="https://platoblockchain.com/wp-content/uploads/2024/02/semiconductor-metrology-positioning-is-key-physics-world-2.jpg" data-caption="Kalite güvencesi Prior Scientific ve Queensgate'in platform teknolojileri, yarı iletken tedarik zinciri boyunca Ar-Ge ve toplu üretim uygulamaları için OEM optik denetim sistemlerine dahil edilmiştir. (Nezaket: Queensgate)”> Queensgate İnterferometre
Kalite güvencesi Prior Scientific ve Queensgate'in platform teknolojileri, yarı iletken tedarik zinciri boyunca Ar-Ge ve toplu üretim uygulamaları için OEM optik denetim sistemlerine dahil edilmiştir. (Nezaket: Queensgate)

kardeş şirketler Önceki Bilimsel ve Kraliçe Geçidi yarı iletken üretiminde ve uygulamalı Ar-Ge'de kullanılan 3D optik metroloji sistemlerinin yüksek hızlı, yüksek hassasiyetli konumlandırma gereksinimlerini destekleyecek çeşitli olanak sağlayan teknolojiler portföyü sunar. Fizik dünyası Queensgate ürün müdürü Craig Goodman ile yarı iletken tedarik zincirinde gelişen teknoloji ve ticari fırsatlar hakkında konuştu.

Yarı iletken üretiminde temassız yüzey metrolojisi neden kritiktir?

Yarı iletken endüstrisi 8 inçten 12 inç (300 mm) yonga levhalara ve bu levhalar üzerindeki daha küçük özelliklere (5 nm veya civarına kadar) geçiş yaptıkça, bu nano ölçekli özelliklerin güvenilir, tekrarlanabilir ve yüksek hız ve yüksek hassasiyetle optik muayenesi daha da önem kazanıyor. her zamankinden daha önemli. Basitçe söylemek gerekirse, 3 mm'lik tek bir levha üzerinde yüz binlerce mikroelektronik cihazı değerlendirebilen otomatik yüzey inceleme sistemlerine olan gereksinim nedeniyle 300D optik metroloji olmazsa olmazdır. Konumlandırma aşamalarımızın kendini gösterdiği nokta burasıdır: ürettiğimiz piezoelektrik nanokonumlandırma alt sistemleri ve kapasitif sensörler için gerçek bir "en iyi nokta".

Yarı iletken endüstrisinde adreslenebilir müşteri tabanınız nasıl görünüyor?

Prior Scientific ve Queensgate'te, olanak sağlayan teknoloji yelpazemizi 3 boyutlu yüzey profili oluşturma ve incelemeye yönelik yeni nesil temassız optik metroloji sistemlerine entegre edecek enstrümantasyon OEM üreticilerini hedefliyoruz. İnovasyon zincirinin yukarısında, uygulamalı Ar-Ge ortamlarında çalışan yarı iletken bilim adamlarına ve mühendislere de çeşitli konumlandırma sistemleri satıyoruz.

Konumlandırma ürünleriniz yarı iletken üreticilerine nasıl fayda sağlıyor?

Ürünlerimiz, OEM optik denetim sistemlerine dahil edildikten sonra, yarı iletken Ar-Ge laboratuvarlarında malzeme ve cihaz düzeyinde prototip geliştirmeyi desteklemek için kullanılır. Hacimli üretim ortamında, aynı yüzey metroloji sistemleri, kalite güvencesi ve kalite kontrolü için kritik öneme sahiptir; cihaz kusurlarını ve arızalarını levha seviyesinde (yani bu cihazlar paketlenmiş elektronik bileşenlere dahil edilmeden önce) ayıklar. Bunun geri dönüşü açıktır: yarı iletken üreticileri, kusurları test döngüsünün başında tespit ederek, bu kusurlu cihazların eksiksiz bir pakete yerleştirilmesini ve elektrik testleri sırasında üretim hattının daha aşağısında keşfedilmesini önler.

Stratejik olarak Prior Scientific ve Queensgate neden şu anda yarı iletken pazarına bu kadar önem veriyor?

Yarı iletken endüstrisine teknoloji tedarikçileri için birbirine yaklaşan büyüme fırsatları var. Başlık düzeyinde, COVID salgını sırasındaki bölgesel çip kıtlığıyla bağlantılı yarı iletken güvenliği sorunu var. Buna yanıt olarak ABD, Avrupalı ​​ve Birleşik Krallık'taki politika yapıcılar, yarı iletken üretiminde yurt içi kapasiteyi artırmak için proaktif bir şekilde hareket ediyor. Toplu üretimde 300 mm'lik yarı iletken plakalara geçiş yapılırken paralel bir teknoloji sürücüsü var ve enstrümantasyon OEM'leri optik metroloji sistemlerini buna göre yeniden tasarlamak zorunda kalıyor. Yarı iletken endüstrisinin standart olarak istediği şey, iş akışı verimliliğini ve ürün kalitesini artırmak için yüksek verimli, ölçeklenebilir ve otomatikleştirilmiş optik denetim sistemleridir.

<a data-fancybox data-src="https://physicsworld.com/wp-content/uploads/2024/02/web-Craig.jpg" data-caption="Craig Goodman “Yarı iletken endüstrisine yönelik teknoloji tedarikçileri için birbirine yaklaşan büyüme fırsatları var.” (Nezaket: Queensgate)” title=”Resmi açılır pencerede açmak için tıklayın” href=”https://physicsworld.com/wp-content/uploads/2024/02/web-Craig.jpg”>Craig Goodman
Craig Goodman “Yarı iletken endüstrisine yönelik teknoloji tedarikçileri için birbirine yaklaşan büyüme fırsatları var.” (Nezaket: Queensgate)

Muhtemelen kuantum teknolojisi endüstrisi aynı zamanda yarı iletken şirketleri için de büyümenin itici gücüdür?

Doğru. Kuantum algılama, kuantum ağ oluşturma ve kuantum bilişimdeki ilerlemeler, geleneksel yarı iletken üretim süreçlerine dayanan önemli malzeme Ar-Ge ve cihaz geliştirme alanları ile oyunun kurallarını değiştiren teknolojiler ve uygulamalar ortaya çıkarmayı vaat ediyor. Gelişmekte olan kuantum tedarik zincirindeki şirketlerin Ar-Ge laboratuvarından sürdürülebilir ticari uygulamalara doğru ilerlemeyi er ya da geç başarmayı ummasıyla işler hızla ilerliyor.

Prior Scientific ve Queensgate, ürün yeniliği söz konusu olduğunda nasıl diğerlerinden önde olabiliyor?

Şirket içi teknoloji yeniliklerimizi hızlı bir şekilde takip etmek için araştırma topluluğuyla yakın işbirliği içinde çalışıyoruz. Bu konuda dikkate değer bir örnek çalışmamız devam eden Ar-Ge işbirliği ile Ulusal Fizik Laboratuvarı (NPL), Birleşik Krallık Ulusal Ölçüm Enstitüsü. Finansmanla Yenilikçiler İçin Analiz (A4I) – tarafından yürütülen bir program İNGİLTERE'DE İnovasyonBirleşik Krallık'ın inovasyon ajansı - yakın zamanda Queensgate'in çok eksenli nanokonumlandırma aşamalarında parazitik (eksen dışı) hareket hatalarının doğası ve kapsamı konusunda "derinlemesine bir inceleme" gerçekleştirdik. NPL bilim adamlarıyla birlikte çalışan bu ayrıntılı araştırma, Queensgate'in piezo tahrikli nano konumlandırma aşamaları portföyünde uçtan uca kalite güvencesini güçlendirmek için pratik bir düzeltme ve kalibrasyon metodolojisi sağladı (aynı zamanda piezo aktüatörler, kapasitif sensörler, kontrol elektroniği gibi teknolojileri etkinleştirir) ve yazılım).

2024 yılında konumlandırma ürünleri portföyünüzün geliştirme yol haritası nasıl görünüyor?

Yakın vadede, temassız bir yüzey metroloji sisteminde tüm optik kafayı manevra etmek için yeni yüksek yüklü konumlayıcılarımızı piyasaya sürmenin yanı sıra, 300 mm levhalar için numune konumlandırma aşamaları yelpazemize çok eksenli yetenek ekleyeceğiz ( Ağır levha aynalarını desteklemek için yük kapasitesi). Ayrıca prototip geliştirme aşamasında olan ve bu yılın sonuna doğru tam ticari olarak piyasaya sürülmesi planlanan, gelişmiş silikon levha işleme için Z ekseni uç/eğimli numune aşaması da bulunuyor. Temel çıkarım: Prior Scientific ve Queensgate birlikte çalışarak 3 boyutlu yüzey ölçümü ve incelemesine yönelik tüm konumlandırma gereksinimlerinizi karşılayabilir.

3D yüzey ölçümü için teknolojileri ve alt sistemleri etkinleştirme

Prior Scientific, araştırma mikroskoplarından otomatik yüzey görüntüleme sistemlerine kadar, gelişmiş yarı iletken Ar-Ge ve üretimin metroloji gereksinimlerini desteklemek için motorlu konumlandırma aşamaları, robotik yükleyiciler, aydınlatma çözümleri ve diğer temel alt sistemler sağlar.

Örneğin Prior'ın H105F'si bir motorlu XY step motor aşaması (154 x 154 mm hareket), yarı iletken plakalar, fotomasklar ve baskılı devre kartları dahil olmak üzere büyük numuneleri barındırabilir. Aynı ürün ailesinin bir parçası olan H112, 302 mm'lik levhaları barındırmak için maksimum 302 x 300 mm hareket aralığı sağlar (birçok robot kollu levha yükleyiciyle uyumluluk sağlarken).

Buna paralel olarak Prior bir dizi ürün üretiyor motorlu ve manuel objektif burun parçası düzenekleri yeni veya mevcut özel optik sistemlere entegre olmak. Burun parçaları, OEM uygulamaları için tek objektifli sabit büyütmeden, birden fazla objektif gerektiren otomatik tarama uygulamaları için altı konumlu motorlu burun parçasına kadar çeşitlilik gösterir.

Kardeş şirket Queensgate, Prior Scientific ürün teklifiyle uyumlu olarak, yarı iletken plaka ve maske denetiminde kullanılan nano konumlandırma sistemleri için yüksek hızlı, yüksek hassasiyetli piezo aşamaları ve düşük pikometre çözünürlüklü kapasitif sensörler üretmektedir.

WP-Z-120A gofret konumlandırma sistemi önemli bir durumdur. Yüksek verimli uygulamalar için tasarlanan tabla, milisaniyelik tepki sürelerini 120 µm kapalı döngü aralığında sürtünmesiz hareketle birleştirir. Ürün, 300 mm'lik levhaları ve 8 kg'a kadar levha aynalarını işleyebilir.

Queensgate portföyündeki diğer temel alt sistemler arasında OP400 ve OP800 bulunmaktadır. piezo objektif tarayıcılar – nm altı konumlandırma çözünürlüğü ve tekrarlanabilirlik sağlayan kapasitif sensörlerle sırasıyla 400 ve 800 µm'ye kadar hareket imkanı sunar. Bu arada, OEM seçenekleri artık bir aile için mevcut “yüksek yüklü” Z konumlayıcılar tüm optik sistemin 3 boyutlu yüzey metrolojisi kurulumunda konumlandırılması için (ve 15 kg'a kadar yüklerle ve 300 µm'ye kadar hareket aralıklarıyla uyumludur).

Zaman Damgası:

Den fazla Fizik dünyası