ہٹاچی ہائی ٹیک نے ویفر مینوفیکچررز کے لیے انتہائی حساسیت اور ہائی تھرو پٹ ویفر سرفیس انسپیکشن سسٹم LS9300AD کا آغاز کیا

ٹوکیو، مارچ 15، 2024 – (JCN نیوز وائر) – Hitachi High-Tech Corporation ("Hitachi High-Tech") نے LS9300AD کے اجراء کا اعلان کیا، جو ذرات اور نقائص کے لیے غیر پیٹرن والی ویفر سطحوں کے اگلے اور پچھلے حصے کا معائنہ کرنے کا ایک نیا نظام ہے۔ غیر ملکی مواد اور نقائص کی روایتی ڈارک فیلڈ لیزر بکھرنے کا پتہ لگانے کے علاوہ، LS9300AD ایک نئے DIC (Differential Interference Contrast) انسپکشن فنکشن سے لیس ہے جو فاسد نقائص، حتیٰ کہ اتلی، کم پہلو*1 مائکروسکوپک نقائص کا پتہ لگانے کے قابل بناتا ہے۔ LS9300AD میں ویفر ایج گرفت کا طریقہ*2 اور گھومنے والا اسٹیج ہے جو فی الحال روایتی مصنوعات میں فرنٹ اور بیک سائیڈ ویفر انسپیکشن کو فعال کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ LS9300AD کے متعارف ہونے کے ساتھ ہی، Hitachi ہائی ٹیک نے سیمی کنڈکٹر اور سیمی کنڈکٹر ویفر ڈیوائسز کے لیے کم معائنے کے اخراجات اور بہتر پیداوار کو قابل بنایا ہے۔ کم پہلو خوردبینی نقائص کی اعلیٰ حساسیت اور اعلیٰ تھرو پٹ کا پتہ لگانا۔

*1 کم پہلو: عام طور پر، پہلو تناسب سے مراد مستطیل کا پہلو تناسب ہوتا ہے۔ اس ریلیز میں، "کم پہلو" سے مراد ویفر کی سطح اور پچھلی طرف کی بے قاعدگیوں سے مراد ہے، گہرائی اور چوڑائی کے انتہائی چھوٹے تناسب کے ساتھ خوردبینی نقائص۔ معائنہ کے دوران کنارے نئی مصنوعات کی ترقی کا پس منظر

غیر پیٹرن والے سیمی کنڈکٹر ویفرز (سرکٹ پیٹرن کی تشکیل سے پہلے) سطحوں اور بیک سائیڈ سطحوں کا معائنہ ویفرز کی ترسیل اور قبولیت کے دوران کوالٹی اشورینس کے ساتھ ساتھ مختلف سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ کے عمل میں ذرات کو کنٹرول کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ ویفر مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران پائے جانے والے نقائص اور ذرات کا معائنہ کرنے کے لیے کوالٹی کنٹرول۔ حالیہ برسوں میں، سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز چھوٹے اور پیچیدہ ہو گئے ہیں، اس لیے سیمی کنڈکٹر ڈیوائس کی تیاری کے عمل میں پیداوار کو متاثر کرنے والے نقائص اور غیر ملکی مادے کا سائز چھوٹا ہو گیا ہے۔ اس کی وجہ سے، ہر قسم کے نقائص کو سنبھالنے کی ضرورت بڑھ رہی ہے، جس میں ویفرز کی سطح اور پچھلے حصے پر کم پہلو والے خوردبینی نقائص بھی شامل ہیں۔ سماجی ماحول میں ہونے والی تبدیلیوں کے جواب میں سیمی کنڈکٹر کی پیداوار میں اضافہ متوقع ہے۔ معائنہ کے اخراجات کو کنٹرول کرنے کے لیے، اعلیٰ حساسیت اور اعلیٰ تھرو پٹ معائنہ کے آلات کی ضرورت ہوتی ہے۔

کلیدی نئی ٹیکنالوجیز

روایتی ڈارک فیلڈ لیزر سکیٹرنگ کے علاوہ، LS9300AD میں ایک نیا DIC آپٹیکل سسٹم ہے جو ہائی حساسیت، ہائی تھرو پٹ انسپیکشن، اور کم پہلو خوردبینی نقائص کا پتہ لگانے کے قابل بناتا ہے۔

(1) بلٹ ان DIC آپٹکس

جب کہ ایک تاریک فیلڈ لیزر ویفر کی سطح کو روشن کرتا ہے، ڈی آئی سی لیزر سے الگ ہونے والے دو بیم ویفر کی سطح پر دو مختلف پوائنٹس کو روشن کرتے ہیں۔ جب ڈی آئی سی لیزر کے ذریعہ شعاع شدہ دو پوائنٹس کے درمیان ویفر کی سطح پر اونچائی میں فرق ہوتا ہے، تو فرق سے پیدا ہونے والے تفریق مداخلت سگنل کا مرحلہ کنٹراسٹ ویفر سطح کی ناہمواری کی ایک اعلی کنٹراسٹ امیج بناتا ہے۔ نتیجے کے طور پر، ویفر کی سطح پر کم پہلو والے خوردبینی نقائص کی اونچائی، رقبہ اور پوزیشن کی معلومات کا پتہ لگانا ممکن ہے، جن کا پچھلی تکنیکوں کے استعمال سے پتہ لگانا مشکل تھا۔

(2) نیا DIC-مطابق ڈیٹا پروسیسنگ سسٹم

ڈی آئی سی آپٹیکل سسٹم کے ساتھ، ڈارک فیلڈ لیزر سکیٹرنگ آپٹیکل سسٹم اور ڈی آئی سی آپٹیکل سسٹم کے ذریعے حاصل کردہ خرابی کی معلومات کے لیے ڈیٹا پروسیسنگ سسٹم نصب کیا گیا ہے۔ یہ ڈی آئی سی آپٹیکل سسٹم سے ڈارک فیلڈ لیزر سکیٹرنگ اور معائنہ کے نقشوں کے بیک وقت آؤٹ پٹ کو قابل بناتا ہے، اعلیٰ حساسیت کے معائنے کے قابل بناتا ہے، حتیٰ کہ کم پہلو والے نقائص والے ڈیٹا کو بھی، اعلی معائنہ کی رفتار کو برقرار رکھتے ہوئے۔

LS9300AD کے ساتھ ساتھ الیکٹران بیم ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے ہمارے میٹرولوجی سسٹمز اور ہمارے آپٹیکل ویفر انسپکشن سسٹمز کی پیشکش کرکے، Hitachi High-Tech سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے پورے عمل میں پروسیسنگ، پیمائش اور معائنہ میں صارفین کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے کام کر رہا ہے۔ ہم آنے والے ٹیکنالوجی کے چیلنجوں کے لیے اپنی مصنوعات کو جدید اور ڈیجیٹل طور پر بہتر حل فراہم کرتے رہیں گے، اور اپنے صارفین کے ساتھ مل کر نئی قدر پیدا کریں گے، اور ساتھ ہی جدید مینوفیکچرنگ میں اپنا حصہ ڈالیں گے۔

ہٹاچی ہائی ٹیک کارپوریشن کے بارے میں

ہٹاچی ہائی ٹیک کارپوریشن، جس کا صدر دفتر ٹوکیو، جاپان میں ہے، وسیع پیمانے پر شعبوں میں سرگرمیوں میں مصروف ہے، بشمول کلینیکل اینالائزرز، بائیوٹیکنالوجی مصنوعات، اور تجزیاتی آلات، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات اور تجزیہ کے آلات کی تیاری اور فروخت۔ اور سماجی اور صنعتی انفراسٹرکچر اور نقل و حرکت وغیرہ کے شعبوں میں اعلیٰ ویلیو ایڈڈ حل فراہم کرنا۔ مالی سال 2022 کے لیے کمپنی کی مجموعی آمدنی تقریباً تھی۔ JPY 674.2 بلین۔ مزید معلومات کے لیے ملاحظہ کریں۔ https://www.hitachi-hightech.com/global/en/

رابطہ کریں:
یوکی میناٹانی بزنس پلاننگ ڈیپارٹمنٹ، میٹرولوجی سسٹمز ڈویژن، نینو ٹیکنالوجی سلوشن بزنس گروپ، ہٹاچی ہائی ٹیک کارپوریشن
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/contactus/#sec-1 

• SEO سے چلنے والا مواد اور PR کی تقسیم۔ آج ہی بڑھا دیں۔
• پلیٹو ڈیٹا ڈاٹ نیٹ ورک ورٹیکل جنریٹو اے آئی۔ اپنے آپ کو بااختیار بنائیں۔ یہاں تک رسائی حاصل کریں۔
• پلیٹوآئ اسٹریم۔ ویب 3 انٹیلی جنس۔ علم میں اضافہ۔ یہاں تک رسائی حاصل کریں۔
• پلیٹو ای ایس جی۔ کاربن، کلین ٹیک، توانائی ، ماحولیات، شمسی، ویسٹ مینجمنٹ یہاں تک رسائی حاصل کریں۔
• پلیٹو ہیلتھ۔ بائیوٹیک اینڈ کلینیکل ٹرائلز انٹیلی جنس۔ یہاں تک رسائی حاصل کریں۔
• ماخذ: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/89577/3/