A speciális helymeghatározó alrendszerek alapvető építőelemeket biztosítanak a 3D felületmérési és -vizsgálati megoldásokhoz a félvezetőipar számára
Testvérvállalatok Előzetes Tudományos és a Queensgate lehetővé tevő technológiák diverzifikált portfólióját kínálja a félvezetőgyártásban és az alkalmazott K+F-ben használt 3D optikai metrológiai rendszerek nagysebességű, nagy pontosságú helymeghatározási követelményeinek alátámasztására. Fizika Világa beszélgetett a Queensgate termékmenedzserével, Craig Goodmannel a feltörekvő technológiáról és a félvezető-ellátási láncon belüli kereskedelmi lehetőségekről.
Miért kritikus az érintésmentes felületi metrológia a félvezetőgyártásban?
Ahogy a félvezetőipar 8 hüvelykesről 12 hüvelykes (300 mm-es) lapkákra és kisebb funkciókra (5 nm-re vagy ahhoz képest) változik, ezen nanoméretű jellemzők optikai vizsgálata – megbízható, megismételhető, nagy sebességgel és nagy pontossággal – válik lehetővé. egyre fontosabb. Leegyszerűsítve, a 3D optikai metrológia elengedhetetlen kellék, mivel olyan automatizált felület-ellenőrző rendszerekre van szükség, amelyek képesek több százezer mikroelektronikai eszköz kiértékelésére egyetlen 300 mm-es lapkán. Itt jönnek létre a helymeghatározási szakaszaink: igazi „édes pont” az általunk gyártott piezoelektromos nanopozicionáló alrendszerek és kapacitív érzékelők számára.
Hogyan néz ki a megszólítható ügyfélköre a félvezetőiparban?
A Prior Scientificnál és a Queensgate-nél a műszergyártókat célozzuk meg, akik az alaptechnológiáinkat integrálják az érintésmentes optikai metrológiai rendszerek következő generációjába a 3D felületi profilalkotás és -ellenőrzés céljából. Az innovációs lánc felső szakaszában számos helymeghatározó rendszert adunk el az alkalmazott K+F területen dolgozó félvezető tudósoknak és mérnököknek.
Milyen előnyökkel jár az Ön helymeghatározó terméke a félvezetőgyártók számára?
Miután beépültek az OEM optikai ellenőrző rendszereibe, termékeinket anyag- és eszközszintű prototípus-fejlesztés támogatására használják a félvezető K+F laboratóriumokban. A mennyiségi gyártási környezetben ugyanazok a felületmérési rendszerek kritikusak a minőségbiztosítás és a minőség-ellenőrzés szempontjából, az eszközhibák és meghibásodások kiszűrésében az ostyák szintjén – vagyis mielőtt ezeket az eszközöket beépítenék a csomagolt elektronikai alkatrészekbe. A megtérülés egyértelmű: a hibáknak a tesztelési ciklus korai szakaszában történő azonosításával a félvezetőgyártók elkerülik, hogy a hibás eszközöket egy komplett csomagba építsék be, és az elektromos tesztelés során a gyártósoron lejjebb fedezzék fel.
Stratégiai szempontból miért fektet most akkora hangsúlyt a Prior Scientific és a Queensgate a félvezetőpiacra?
A félvezetőipar technológiai beszállítói számára összetartó növekedési lehetőségek nyílnak meg. A főcím szintjén a félvezető-biztonság kérdése a COVID-járvány idején tapasztalható regionális chiphiányhoz kapcsolódik. Válaszként az Egyesült Államok, az európai és az Egyesült Királyság döntéshozói proaktívan lépnek fel a félvezetőgyártás hazai kapacitásának növelése érdekében. Létezik egy párhuzamos technológiai hajtóerő, amikor a mennyiségi gyártás áttér a 300 mm-es félvezető lapkákra, és a műszergyártóknak ennek megfelelően újra kell tervezniük optikai metrológiai rendszereiket. A félvezetőipar alapvetően nagy áteresztőképességű, méretezhető és automatizált optikai ellenőrző rendszereket szeretne a munkafolyamatok hatékonyságának és a termékminőség javításának érdekében.
Feltehetően a kvantumtechnológiai ipar is a félvezetőgyártó cégek növekedésének motorja?
Helyes. A kvantumérzékelés, a kvantumhálózatok és a kvantumszámítástechnika terén elért fejlődés azt ígéri, hogy a játékot megváltoztató technológiák és alkalmazások hoznak létre, ahol az anyagok kutatás-fejlesztése és az eszközfejlesztés jelentős területei a hagyományos félvezető-gyártási eljárásokra támaszkodnak. A dolgok gyorsan haladnak, a feltörekvő kvantumellátási lánc vállalatai abban reménykednek, hogy előbb-utóbb a K+F-labortól a fenntartható kereskedelmi alkalmazások felé haladnak.
Hogyan marad a Prior Scientific és a Queensgate a görbe előtt a termékinnováció terén?
Szorosan együttműködünk a kutatói közösséggel házon belüli technológiai innovációnk felgyorsítása érdekében. E tekintetben egy figyelemre méltó esettanulmány a mi folyamatos K+F együttműködés a ... val Nemzeti Fizikai Laboratórium (NPL), az Egyesült Királyság Nemzeti Mérési Intézete. forrásból származó finanszírozással Elemzés újítóknak (A4I) – által futtatott program Innoválja az Egyesült Királyságot, az Egyesült Királyság innovációs ügynöksége – a közelmúltban „mélyre merültünk” a parazita (tengelyen kívüli) mozgási hibák természetében és mértékében a Queensgate többtengelyes nanopozicionálási szakaszaiban. Az NPL tudósaival együttműködve ez a szemcsés vizsgálat gyakorlati korrekciós és kalibrációs módszertant eredményezett, hogy megerősítse a végpontok közötti minőségbiztosítást a Queensgate piezo-vezérelt nanopozicionálási fokozatok portfóliójában (valamint az olyan lehetővé tevő technológiákban, mint a piezo aktuátorok, kapacitív érzékelők, vezérlő elektronika és szoftver).
Hogyan néz ki a fejlesztési ütemterv a pozícionáló termékek portfóliójához 2024-ben?
A közeljövőben piacra dobjuk új, nagy terhelésű pozicionálóinkat – a teljes optikai fej manőverezésére egy érintésmentes felületmérő rendszerben –, valamint többtengelyes képességgel egészítjük ki a 300 mm-es lapkákhoz használható mintapozícionáló fokozataink kínálatát. teherbírás a nehéz ostyatokmányok megtámasztásához). Szintén prototípus fejlesztés alatt áll, és még ebben az évben teljes kereskedelmi forgalomba kerül, egy Z-tengelyes csúcs/döntés mintaegység a fejlett szilíciumlapka-feldolgozáshoz. A legfontosabb dolog: a Prior Scientific és a Queensgate közös munkája minden pozicionálási követelményt kielégít a 3D felületmérés és -vizsgálat során.
Technológiák és alrendszerek lehetővé tétele 3D felületméréshez
A kutatási mikroszkópoktól az automatizált felületi képalkotó rendszerekig a Prior Scientific motorizált pozicionáló fokozatokat, robotrakodókat, megvilágítási megoldásokat és más alapvető alrendszereket kínál a fejlett félvezető kutatás-fejlesztés és gyártás metrológiai követelményeinek támogatására.
A Prior H105F például a motoros XY léptetőmotoros fokozat (154 x 154 mm-es út), amely képes nagy minták befogadására, beleértve a félvezető lapkákat, fotómaszkokat és nyomtatott áramköri lapokat. Ugyanezen termékcsalád része, a H112 302 x 302 mm-es maximális mozgási tartományt biztosít a 300 mm-es ostyák befogadásához (miközben biztosítja a kompatibilitást számos robotkaros ostyatöltővel).
Ezzel párhuzamosan a Prior gyárt egy sor motoros és kézi objektív orr-szerelvények új vagy meglévő egyedi optikai rendszerekbe való integráláshoz. Az orrrészek az egyobjektíves fix nagyítástól az OEM-alkalmazásokhoz a hat állású motoros orrrészig terjednek, ha több objektívet igényelnek az automatizált szkennelési alkalmazásokhoz.
A Prior Scientific termékkínálatához illeszkedve a Queensgate testvérvállalat nagy sebességű, nagy pontosságú piezo fokozatokat és kapacitív érzékelőket gyárt alacsony pikometrikus felbontással a félvezető lapkák és maszkok vizsgálatához használt nanopozicionáló rendszerekhez.
A WP-Z-120A ostya pozicionáló rendszer példaértékű. A nagy áteresztőképességű alkalmazásokhoz tervezett tárgyasztal az ezredmásodperces válaszidőket súrlódásmentes mozgással kombinálja egy 120 µm-es zárt hurkú tartományban. A termék 300 mm-es ostyát és ostyatokmányt 8 kg-ig képes kezelni.
A Queensgate portfólió további alapvető alrendszerei közé tartozik az OP400 és az OP800 piezo objektív szkennerek – akár 400, illetve 800 µm ugrást tesz lehetővé, kapacitív érzékelőkkel, amelyek nm alatti pozicionálási felbontást és ismételhetőséget biztosítanak. Eközben az OEM opciók már elérhetők egy család számára „nagy terhelésű” Z pozicionálók a teljes optikai rendszer pozícionálására 3D-s felületmetrológiai elrendezésben (és kompatibilis 15 kg-ig terjedő terhelésekkel és 300 µm-es utazási tartományokkal).
- SEO által támogatott tartalom és PR terjesztés. Erősödjön még ma.
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai. Erősítse meg magát. Hozzáférés itt.
- PlatoAiStream. Web3 Intelligence. Felerősített tudás. Hozzáférés itt.
- PlatoESG. Carbon, CleanTech, Energia, Környezet, Nap, Hulladékgazdálkodás. Hozzáférés itt.
- PlatoHealth. Biotechnológiai és klinikai vizsgálatok intelligencia. Hozzáférés itt.
- Forrás: https://physicsworld.com/a/semiconductor-metrology-positioning-is-key/
- :is
- :ahol
- $ UP
- 12
- 120
- 15%
- 154
- 2024
- 300
- 3d
- 400
- 8
- a
- Rólunk
- elhelyezésére
- Eszerint
- át
- hozzáadásával
- címezhető
- fejlett
- előlegek
- ügynökség
- előre
- Minden termék
- Is
- és a
- alkalmazások
- alkalmazott
- VANNAK
- területek
- AS
- biztosíték
- At
- Automatizált
- elérhető
- elkerülése érdekében
- bázis
- BE
- válik
- előtt
- hogy
- haszon
- Blocks
- Épület
- épült
- by
- TUD
- képesség
- képes
- Kapacitás
- eset
- esettanulmány
- lánc
- csip
- világos
- kettyenés
- szorosan
- kombájnok
- hogyan
- jön
- kereskedelmi
- közösség
- Companies
- vállalat
- kompatibilitás
- összeegyeztethető
- teljes
- alkatrészek
- számítástechnika
- ellenőrzés
- összetartó
- Mag
- terjed
- Covidien
- Craig
- kritikai
- görbe
- szokás
- vevő
- ciklus
- tervezett
- Fejlesztés
- eszköz
- Eszközök
- felfedezett
- változatos
- diverzifikált portfólió
- do
- nem
- Házi
- le-
- hajtás
- gépkocsivezető
- két
- alatt
- e
- Korai
- hatékonyság
- Elektronikus
- Elektronika
- csiszolókő
- Feltörekvő technológia
- hangsúly
- lehetővé téve
- végtől végig
- Mérnökök
- biztosítása
- Egész
- Környezet
- hibák
- európai
- értékelő
- példa
- létező
- mérték
- hibák
- család
- GYORS
- Jellemzők
- rögzített
- A
- ból ből
- Tele
- finanszírozás
- további
- generáció
- Giving
- Goodman
- szemcsés
- Növekedés
- fogantyú
- tekintettel
- fej
- headline
- nehéz
- Magas
- remélve
- HTTPS
- Több száz
- i
- azonosító
- kép
- Leképezés
- fontos
- in
- tartalmaz
- Beleértve
- Bejegyzett
- ipar
- információ
- Innováció
- Intézet
- integrálni
- bele
- vizsgálat
- kérdés
- IT
- jpg
- Kulcs
- labor
- Labs
- nagy
- a későbbiekben
- indítás
- szint
- mint
- vonal
- összekapcsolt
- kiszámításának
- terhelések
- néz
- hasonló
- Elő/Utó
- menedzser
- kézikönyv
- Gyártók
- gyártási
- sok
- piacára
- maszk
- anyagok
- max-width
- maximális
- Közben
- mérés
- Módszertan
- Mérésügyi
- mozgás
- mozgó
- sok
- többszörös
- Kell
- nemzeti
- Természet
- hálózatba
- Új
- következő
- figyelemre méltó
- Most
- célkitűzés
- célok
- of
- ajánlat
- felajánlás
- on
- nyitva
- nyitás
- Lehetőségek
- Opciók
- or
- Más
- mi
- ki
- felett
- saját
- csomag
- becsomagolt
- járvány
- Párhuzamos
- rész
- VISSZATÉRÍTÉS
- fizikai
- Fizika
- Fizika Világa
- emelvény
- Plató
- Platón adatintelligencia
- PlatoData
- pont
- portfolió
- helymeghatározás
- Gyakorlati
- Pontosság
- Előzetes
- Folyamatok
- feldolgozás
- termel
- Termékek
- termék menedzser
- Termékminőség
- Termelés
- Termékek
- profilalkotás
- program
- Haladás
- ígéret
- prototípus
- ad
- biztosít
- tesz
- elhelyezés
- világítás
- Kvantum
- kvantumszámítás
- kvantumhálózat
- kvantumtechnika
- K + F
- hatótávolság
- tartományok
- Inkább
- igazi
- nemrég
- tekintik
- regionális
- megerősítése
- engedje
- megbízható
- megismételhető
- követelmény
- követelmények
- kutatás
- Felbontás
- illetőleg
- válasz
- jobb
- ütemterv
- futás
- azonos
- minta
- skálázható
- Skála
- letapogatás
- tudományos
- tudósok
- biztonság
- elad
- félvezető
- érzékelők
- beállítások
- hiány
- jelentős
- egyszerűen
- egyetlen
- testvér
- kisebb
- So
- szoftver
- Megoldások
- sebesség
- Szponzorált
- Színpad
- állapota
- standard
- tartózkodás
- Tanulmány
- ilyen
- szállítók
- kínálat
- ellátási lánc
- támogatás
- felületi
- fenntartható
- rendszer
- Systems
- célzás
- Technologies
- Technológia
- Technológiai innováció
- kifejezés
- Tesztelés
- mint
- hogy
- A
- azok
- dolgok
- ezt
- idén
- azok
- ezer
- miniatűr
- alkalommal
- nak nek
- együtt
- felé
- hagyományos
- átmenetek
- utazás
- Uk
- alátámasztani
- kötelezettséget vállalt
- us
- használt
- kötet
- akar
- Út..
- we
- JÓL
- Mit
- amikor
- míg
- WHO
- miért
- lesz
- val vel
- belül
- Munka
- munkafolyamat
- dolgozó
- világ
- X
- év
- Hozam
- engedett
- A te
- zephyrnet